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D.3.2靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室（區(qū))時(shí)，應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測包括過濾器的整個(gè)面和過濾器...

9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運(yùn)行時(shí)間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風(fēng)風(fēng)量，經(jīng)常手動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥，以增加風(fēng)量，調(diào)整很麻煩；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中，系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)為使風(fēng)機(jī)空載啟動(dòng)，首先將風(fēng)機(jī)出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機(jī)啟動(dòng)后，由于風(fēng)閥上承受壓力很大，打開十分困難。當(dāng)采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風(fēng)機(jī)的變頻調(diào)速裝置后，送風(fēng)量的調(diào)節(jié)變得十分容易，送風(fēng)壓力穩(wěn)定。同時(shí)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分***。9.4.3為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風(fēng)機(jī)停轉(zhuǎn)無風(fēng)或超溫時(shí)，電加熱器繼續(xù)送電加熱會(huì)造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火災(zāi)，本條強(qiáng)制性規(guī)定應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姷缺Ｗo(hù)裝置?？諝膺^濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝...

12.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。無菌操作間應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)品種的需要，保持對(duì)鄰室的相對(duì)正壓或相對(duì)負(fù)壓，以防止外界污染空氣的流入。...

9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制，這就要求在達(dá)到同一照度值情況下，安裝燈具的個(gè)數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時(shí)還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當(dāng)有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達(dá)到設(shè)計(jì)照度值，在此情況下，可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對(duì)光源光色有特殊要求，或熒光燈對(duì)生產(chǎn)工藝和測試設(shè)備有干擾時(shí)，也可采用其他形式光源。空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等...

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定：1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾或強(qiáng)電磁場的區(qū)域。不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí)，則應(yīng)位于全年**小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；3在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。浙江潔凈工作臺(tái)潔凈室檢測第三方檢測機(jī)構(gòu)C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測。C.3.2過...

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))時(shí)，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；2應(yīng)密封性能好；3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)...

從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)則更低。現(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)指標(biāo)，也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)各頻帶聲壓級(jí)提出了限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級(jí)分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)不同的空氣潔凈度等級(jí)潔凈室提出了一個(gè)統(tǒng)一的容許值。 潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。上海生物安全柜潔凈室檢測技術(shù)好D.3.5氣流流型的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1氣流流型的檢測，宜...

D.3.10自凈時(shí)間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時(shí)間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時(shí)間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測，同時(shí)應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí)，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī)，定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間（t）。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N。）。然后開機(jī)...

近年來，國內(nèi)設(shè)計(jì)、建造的潔凈廠房，一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級(jí)確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)，還有一些潔凈廠房雖然沒有對(duì)潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級(jí)要求，但室內(nèi)采用高效空氣過濾送風(fēng)系統(tǒng)，或?qū)崈羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引人更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此，本次修訂時(shí)對(duì)潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜低于相鄰潔凈區(qū)1級(jí)~2級(jí)和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級(jí)不宜低于8級(jí)”的規(guī)定取消，修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對(duì)空氣凈化要求的相關(guān)內(nèi)容的規(guī)定合并在一條內(nèi)：“宜根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室（區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)確定”。不...

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))時(shí)，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；2應(yīng)密封性能好；3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送?？扇?xì)怏w管道、氧...

9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有和火災(zāi)危險(xiǎn)場所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω；...

9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有和火災(zāi)危險(xiǎn)場所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω；...

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層，上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線；下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)。安徽醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測服務(wù)C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)...

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當(dāng)潔凈廠房設(shè)置外窗時(shí)，應(yīng)采用雙層固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性，同時(shí)應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺(tái)；4當(dāng)?shù)孛娌捎没顒?dòng)地板時(shí)，活動(dòng)地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)...

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝...

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時(shí)的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項(xiàng)檢測用于驗(yàn)證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個(gè)過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項(xiàng)檢測是在新建潔凈室調(diào)試時(shí)，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時(shí)，或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。減...

5.3.9空氣潔凈度等級(jí)要求較高的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外，還靠上下馬槽和板之間的嚴(yán)密結(jié)合，使?jié)崈羰倚纬梢粋€(gè)完整的匣體。板壁之間的接縫應(yīng)以硅橡膠等密封材料嵌縫密封，它的作用是防止灰塵在停機(jī)時(shí)從此進(jìn)人室內(nèi)，同時(shí)使?jié)崈羰以谡９ぷ鲿r(shí)易于保持正壓，減少能量的損耗。此外，潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙，一定要***密封。目前國內(nèi)使用的密封方法很多，如液槽密封、機(jī)械壓墊密封等，但必須做到涂抹或填嵌方便，操作簡單，而且還要考慮更換高效過濾器時(shí)方便拆裝。總之，沒有經(jīng)過高效...

7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵，對(duì)給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格，如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價(jià)高、管理要求嚴(yán)格，因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求，冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等），以便重點(diǎn)保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng)，也利于管理和節(jié)省運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè)，如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級(jí)換代快，生產(chǎn)工藝變化多。因此，在管道設(shè)計(jì)中應(yīng)留有充分的余量。無菌室，亦稱為凈化室或潔凈室，是一種專門設(shè)計(jì)用于控制環(huán)境污染的封閉空間。潔凈氣體3Q驗(yàn)證潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)12.4.1潔凈廠房的...

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室（區(qū)）面積較小或只有局部要求凈化時(shí)，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū)）送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時(shí)運(yùn)行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)，應(yīng)集中處理...

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層...

15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。15.1.2設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時(shí)，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)；3對(duì)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動(dòng)影響時(shí)，應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單...

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式。為了達(dá)到規(guī)定的潔凈度級(jí)別，有效地控制微粒的污染。微生物潔凈室檢測技術(shù)好6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以...

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存和分配室時(shí)，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。嚴(yán)寒及寒...

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當(dāng)潔凈廠房設(shè)置外窗時(shí)，應(yīng)采用雙層固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性，同時(shí)應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺(tái)；4當(dāng)?shù)孛娌捎没顒?dòng)地板時(shí)，活動(dòng)地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。潔凈室可以是單向流和非單向流組...

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層，上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線；下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)。壓縮空氣檢測潔凈室檢測服務(wù)商D.3.5氣流流型的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤...

10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí)，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時(shí)，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。無菌操作間應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)品種的需要，保持對(duì)鄰室的相對(duì)正壓或相對(duì)負(fù)壓，以防止外界污染空氣的流入。北京潔凈設(shè)備3Q驗(yàn)...

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存和分配室時(shí)，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。非單向流...

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜。因此，在進(jìn)行管線綜合布置時(shí)，必須在平面和標(biāo)高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對(duì)國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計(jì)得過高是不經(jīng)濟(jì)的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯(cuò)的。因此，在進(jìn)行管線綜合布置設(shè)計(jì)和確定技術(shù)夾層層高時(shí)，應(yīng)進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，...