5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時,宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室(區(qū))內的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時,應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室(區(qū))內,電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送,宜采用容器。用于存放和傳送的**容器,應符合下列規(guī)定:1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電,并在空氣中不應被氧化;2應密封性能好;3當存放物有嚴格的潔凈度要求時,宜充填高純度或干燥氮氣;4構造、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求,并應方便操作和運送。凈化空調系統(tǒng)設計應合理利用回風。口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測認真負責
C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計掃描檢漏規(guī)程C.3.1進行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前,應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質量中值粒徑(MMD)一般為0.5μm~0.7μm,幾何標準差可高達1.7];濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳;高于80mg/m,長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風應均勻混合,上風向氣溶膠濃度隨時間的變化不應超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度,移動采樣探頭往復掃描。采樣頭往復掃描速度為15/Wp,cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注:當使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時,掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風速接近過濾器出風面的風速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。C.3.5掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構架之間的密封處及安裝構架的結合點。C.3.6驗收限值:當讀數(shù)大于上風向氣溶膠濃度的0.01%時,就認為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處,采樣頭應停留持續(xù)測量一段時間,光度計獲得比較大讀數(shù)時采樣頭的位置應判定為滲漏位置。上海風速潔凈室檢測頻率非連續(xù)運行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置值班送風。
5.1.1隨著科學技術的發(fā)展,電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術的發(fā)展十分迅速,以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***,集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品;以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn);微型計算機的迅速發(fā)展,使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此,電子工業(yè)潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發(fā)展的需要,從潔凈廠房的規(guī)劃開始,對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。
(1)潔凈廠房是現(xiàn)代科學技術發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學技術的日新月異,新技術、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn),產(chǎn)品精密度的日益提高,對無塵提出了越來越高的要求。目前,潔凈廠房已廣泛應用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2)潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質量有很大影響。因此,必須保持凈化空調系統(tǒng)的正常運行。據(jù)了解,在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電,室內空氣會很快污染,影響產(chǎn)品質量。(3)潔凈廠房是個相對的密閉體,由于停電造成送風中斷,室內的新鮮空氣得不到補充,有害氣體不能排出,對工作人員的健康是不利的。管道系統(tǒng)應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。
9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅,不能進行必要的操作處置可能導致生產(chǎn)流程混亂,加工處理的貴重零部件損壞;或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災、和中毒等事故,本條規(guī)定應設置備用照明,以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應低于正常照明照度標準的1/10。消防控制室、應急發(fā)電機室、配電室及電話機房等房間的主要工作面上,備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復設置,節(jié)省投資,并對提高潔凈室的潔凈度有利,備用照明宜作為正常照明的一部分。以前常稱為亂流型潔凈室,室內的氣流并不都按單一方向流動。靜電潔凈室檢測評估
設置在同一潔凈室內的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近??谡稚a(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測認真負責
6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修,應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內部裝修設計防火規(guī)范》GB50222的有關規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應大于50,材料的煙密度等級應符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規(guī)定。6.3.2潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求:1應滿足使用功能的要求,且表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔,并應減少凹凸面,2當采用踢腳時,踢腳不宜突出墻面??谡稚a(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測認真負責
人員衛(wèi)生檢測也是無塵室檢測的重要組成部分,因為人員是無塵室比較大的污染源之一。檢測內容包括人員穿戴的潔凈服裝的潔凈度、人員手部和身體表面的微生物數(shù)量等。通過對人員衛(wèi)生的檢測,可以確保人員在進入無塵室之前符合潔凈要求,減少人員活動對無塵室環(huán)境的污染。在人員進入無塵室之前,需要經(jīng)過嚴格的更衣、洗手、消毒等程序,穿戴符合要求的潔凈服裝、口罩、手套、鞋套等。檢測人員可以使用表面采樣器或棉簽對人員穿戴的潔凈服裝表面、手部等部位進行采樣,檢測微生物數(shù)量和塵埃粒子數(shù)量。如果檢測結果超標,說明人員的衛(wèi)生措施不到位,需要加強人員培訓,提高人員的潔凈意識。潔凈室檢測人員需持證上崗,經(jīng)過理論知識與實操技能的雙重考核...