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1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層，上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線；下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。江蘇半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測評估3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度...

5.2.2人員進(jìn)出、材料出入、產(chǎn)品運(yùn)送及設(shè)備、工具搬運(yùn)的頻繁交錯(cuò)，不但會(huì)彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率，并可能會(huì)使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時(shí)，應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據(jù)潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級、人員數(shù)量、未來發(fā)展需求等確定。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級等確定。斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，準(zhǔn)垂直單向流，水平單向流潔凈室等。浙江照度潔凈室檢測規(guī)范性強(qiáng)...

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時(shí)，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動(dòng)影響作出評價(jià)，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè)。周圍振源對精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動(dòng)影響，是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結(jié)果。這種疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法。因此，應(yīng)立足于實(shí)測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗(yàn)帶來很大困難，這說明實(shí)測振源振動(dòng)影響是非常必要的。潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定...

7.4.5干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組所提供的機(jī)外余壓確定；3冷凍水進(jìn)水溫度，宜高于潔凈室（區(qū))內(nèi)空氣的**溫度；4應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機(jī)組的選用和布置，應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)有良好的氣密性，漏風(fēng)率不得大于1%；2整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強(qiáng)度和剛度，內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑，外表面不應(yīng)結(jié)露；3布置應(yīng)整齊，并應(yīng)便于運(yùn)行和維修；當(dāng)多套空氣處理機(jī)組為同一潔凈室（區(qū))服務(wù)時(shí)，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機(jī)組；送風(fēng)機(jī)宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行...

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中。江蘇手術(shù)室潔凈室檢測范圍4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定：1應(yīng)布置...

15.3.2有微振動(dòng)控制要求的潔凈室（區(qū))，其建筑結(jié)構(gòu)的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1建筑物基礎(chǔ)宜置于動(dòng)力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；2應(yīng)設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動(dòng)控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；3主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動(dòng)控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。15.3.3有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備和管道，宜采取主動(dòng)隔振措施，并應(yīng)符合下列要求.1宜采用隔振臺(tái)(座）；2應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。北京氣流潔凈室檢測哪家好15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)...

隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格，而且對細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū)，以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會(huì)有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響，同時(shí)，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。對較大型的...

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當(dāng)潔凈廠房設(shè)置外窗時(shí)，應(yīng)采用雙層固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性，同時(shí)應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺(tái)；4當(dāng)?shù)孛娌捎没顒?dòng)地板時(shí)，活動(dòng)地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝...

空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近；7對化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級...

D.3.10自凈時(shí)間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時(shí)間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時(shí)間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測，同時(shí)應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí)，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī)，定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間（t）。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N。）。然后開機(jī)...

從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)則更低?，F(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲壓級作為評價(jià)指標(biāo)，也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對各頻帶聲壓級提出了限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個(gè)統(tǒng)一的容許值。 空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。安徽壓差潔凈室檢測評估5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時(shí)，宜...

C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時(shí)檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時(shí)間檢測會(huì)過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度，移動(dòng)采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當(dāng)使用3cm×3...

隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格，而且對細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū)，以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會(huì)有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響，同時(shí)，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。根據(jù)潔凈室...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝...

9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制，這就要求在達(dá)到同一照度值情況下，安裝燈具的個(gè)數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時(shí)還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當(dāng)有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達(dá)到設(shè)計(jì)照度值，在此情況下，可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設(shè)備有干擾時(shí)，也可采用其他形式光源。應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角...

1管道連接應(yīng)采用焊接，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時(shí)宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計(jì)工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應(yīng)采...

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜。因此，在進(jìn)行管線綜合布置時(shí)，必須在平面和標(biāo)高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計(jì)得過高是不經(jīng)濟(jì)的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯(cuò)的。因此，在進(jìn)行管線綜合布置設(shè)計(jì)和確定技術(shù)夾層層高時(shí)，應(yīng)進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，...

10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí)，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時(shí)，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整個(gè)室截面上通過的潔凈室。浙江國內(nèi)潔凈室檢測方...

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面，2當(dāng)采用踢腳時(shí)，踢腳不宜突出墻面。應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物...

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān)，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)置，并宜布置在上風(fēng)側(cè)；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求。另外，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快，電子工廠在實(shí)際生產(chǎn)中，在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多，因此在做工藝布局時(shí)，應(yīng)根據(jù)具體情況，考慮這些因素，留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)...

12.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa。塵埃粒子潔凈室檢測哪家好隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的...

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時(shí)，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動(dòng)影響作出評價(jià)，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè)。周圍振源對精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動(dòng)影響，是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結(jié)果。這種疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法。因此，應(yīng)立足于實(shí)測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗(yàn)帶來很大困難，這說明實(shí)測振源振動(dòng)影響是非常必要的。單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在...

1凈鞋的目的在于保護(hù)人員凈化用室入口處不致受到嚴(yán)重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護(hù)人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺(tái)上換鞋等都有很好的效果。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中。塵埃粒子潔凈室檢測流程C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已...

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜。因此，在進(jìn)行管線綜合布置時(shí)，必須在平面和標(biāo)高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計(jì)得過高是不經(jīng)濟(jì)的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯(cuò)的。因此，在進(jìn)行管線綜合布置設(shè)計(jì)和確定技術(shù)夾層層高時(shí)，應(yīng)進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，...

1管道連接應(yīng)采用焊接，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時(shí)宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計(jì)工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應(yīng)采...

D.3.2靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室（區(qū))時(shí)，應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測包括過濾器的整個(gè)面和過濾器...

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存和分配室時(shí)，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。潔凈室(...

C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時(shí)檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時(shí)間檢測會(huì)過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度，移動(dòng)采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當(dāng)使用3cm×3...

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān)，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)置，并宜布置在上風(fēng)側(cè)；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求。另外，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快，電子工廠在實(shí)際生產(chǎn)中，在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多，因此在做工藝布局時(shí)，應(yīng)根據(jù)具體情況，考慮這些因素，留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)...