芯片研發(fā)制造過程鏈條漫長，很多重要工藝環(huán)節(jié)需進(jìn)行精密檢測以確保良率，降低生產(chǎn)成本。提高制造控制工藝，并通過不斷研發(fā)迭代和測試，才能制造性能更優(yōu)異的芯片，走向市場并逐漸應(yīng)用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小，在溫度循環(huán)下的應(yīng)力，傳統(tǒng)測試方法難以獲??；高精度光學(xué)非接觸應(yīng)變測量技術(shù)的發(fā)展，打破了原先在微觀尺寸測量領(lǐng)域的限制，特別是在半導(dǎo)體材料、芯片結(jié)構(gòu)變化細(xì)微的測量條件下，三維應(yīng)變測量技術(shù)分析尤為重要。光學(xué)非接觸應(yīng)變測量實(shí)現(xiàn)動態(tài)應(yīng)力的高精度測量。廣東全場數(shù)字圖像相關(guān)技術(shù)測量

通過大變形拉伸試驗(yàn)可以研究橡膠材料在拉伸應(yīng)力下的變形，結(jié)合試驗(yàn)方法可以測量橡膠材料和金屬材料的拉伸性能，結(jié)合有限元分析和試驗(yàn)結(jié)果可以測量特殊橡膠材料在拉力下的應(yīng)力、變形和位移，為提高橡膠材料的綜合力學(xué)性能提供了數(shù)據(jù)依據(jù)。傳統(tǒng)的位移和應(yīng)變測量方法經(jīng)常使用伸長計(jì)和應(yīng)變計(jì)等接觸方法，精度很高，但應(yīng)變計(jì)需要直接粘貼在圖案表面，并通過布線連接到收集盒，這很麻煩，而且范圍有限。例如，對于橡膠材料的拉伸試驗(yàn)，由于材料本身的特殊性，不容易粘貼應(yīng)變計(jì)。此外，橡膠拉伸變形較大，普通伸長儀和應(yīng)變儀的量程不足以滿足測量要求。北京掃描電鏡數(shù)字圖像相關(guān)技術(shù)測量系統(tǒng)光學(xué)非接觸應(yīng)變測量對物體表面的變形進(jìn)行定量分析。

外部變形是指變形體的外部形狀及其空間位置的變化，如傾斜、裂縫、垂直和水平位移。因此，變形觀測可分為垂直位移觀測（通常稱為沉降觀測）、水平位移觀測（常稱為位移觀測）、傾斜觀測、裂縫觀測、，以及風(fēng)振觀測（強(qiáng)風(fēng)引起的變形觀測）、陽光觀測（陽光引起的不均勻加熱引起的變形的觀測）和基坑回彈觀測（基坑開挖期間卸載土壤重量引起的坑底土壤隆起的觀測）；內(nèi)部變形是指變形體內(nèi)部應(yīng)力、溫度、水位、滲流和滲透壓力的變化。

光學(xué)非接觸應(yīng)變測量常用的結(jié)構(gòu)或部件變形測量儀器有水平儀、經(jīng)緯儀、錘球、鋼卷尺、棉線、激光測位儀、紅外測距儀、全站儀等。構(gòu)件的變形形式有梁、屋架的撓曲、屋架的傾斜、柱的側(cè)向等，應(yīng)根據(jù)試驗(yàn)對象選用不同的方法及儀器。在測量小跨、屋架撓度時(shí)，可以采用簡易拉線法，或選用基準(zhǔn)點(diǎn)采用水平儀測平。房屋框架的傾斜變位測量，一般是將吊錘從上弦固定到下弦處，光學(xué)非接觸應(yīng)變測量其傾斜值，記錄傾斜方向。可采用粘貼10mm左右厚、50-80mm寬的石膏餅粘貼牢固，以判斷裂縫是否發(fā)展為宜，可采用粘貼石膏法。還可在裂縫的兩邊粘貼幾對手持應(yīng)變計(jì)，用手持應(yīng)變計(jì)測量變形發(fā)展情況。光學(xué)非接觸應(yīng)變測量應(yīng)用于熔體物理學(xué)和材料科學(xué)研究。

在海上測控過程中，光學(xué)非接觸應(yīng)變測量船需要綜合考慮船舶航行、顛簸搖晃、船體變形等多種因素的影響，而慣導(dǎo)設(shè)備是校準(zhǔn)各項(xiàng)誤差、影響比較終測控精度的重要設(shè)備之一。在鑒定任務(wù)期間，測控系統(tǒng)船姿船位組承擔(dān)主要任務(wù)，氣象預(yù)報(bào)、網(wǎng)信、常規(guī)保障設(shè)備等多系統(tǒng)相互配合，平臺慣導(dǎo)、捷聯(lián)慣導(dǎo)（含衛(wèi)星導(dǎo)航）、光電經(jīng)緯儀、變形測量系統(tǒng)等多套設(shè)備共同參與，各崗位操作嫻熟、各系統(tǒng)配合默契、各設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，在連續(xù)奮戰(zhàn)8個(gè)晝夜后，圓滿完成對新增慣導(dǎo)的外場檢測、實(shí)際應(yīng)用考核、精度鑒定和性能檢驗(yàn)。光學(xué)非接觸應(yīng)變測量應(yīng)用于地質(zhì)災(zāi)害監(jiān)測和預(yù)防。北京掃描電鏡數(shù)字圖像相關(guān)技術(shù)測量系統(tǒng)

光學(xué)非接觸應(yīng)變測量通過多個(gè)角度測量實(shí)現(xiàn)精確的應(yīng)力分析。廣東全場數(shù)字圖像相關(guān)技術(shù)測量

建筑物變形測量應(yīng)根據(jù)確定的觀測周期和總次數(shù)進(jìn)行。變形觀測周期的確定應(yīng)以能系統(tǒng)反映實(shí)測建筑物變形的變化過程而不遺漏其變化時(shí)間為原則，并綜合考慮單位時(shí)間變形量的大小、變形特征、觀測精度要求和外部因素的影響。1、對于單層網(wǎng)，觀測點(diǎn)和控制點(diǎn)應(yīng)根據(jù)變形觀測周期進(jìn)行觀測。對于兩級網(wǎng)絡(luò)，應(yīng)根據(jù)變形觀測周期觀測聯(lián)合測量的觀測點(diǎn)和控制點(diǎn)。可以根據(jù)重新測量周期來觀察控制網(wǎng)絡(luò)部分。2、控制網(wǎng)復(fù)測周期應(yīng)根據(jù)測量目的和點(diǎn)的穩(wěn)定性確定。一般情況下，應(yīng)每六個(gè)月進(jìn)行一次復(fù)測。施工過程中應(yīng)適當(dāng)縮短觀測時(shí)間間隔，待點(diǎn)穩(wěn)定后可適當(dāng)延長觀測時(shí)間間隔。廣東全場數(shù)字圖像相關(guān)技術(shù)測量

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