芯片研發(fā)制造過程鏈條漫長，很多重要工藝環(huán)節(jié)需要進(jìn)行精密檢測以確保良率，降低生產(chǎn)成本。提高制造控制工藝，并通過不斷研發(fā)迭代和測試，才能制造性能更優(yōu)異的芯片，走向市場并逐漸應(yīng)用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小，在溫度循環(huán)下的應(yīng)力，傳統(tǒng)測試方法難以獲取；高精度三維顯微應(yīng)變測量技術(shù)的發(fā)展，打破了原先在微觀尺寸測量領(lǐng)域的限制，特別是在半導(dǎo)體材料、芯片結(jié)構(gòu)變化細(xì)微的測量條件下，三維應(yīng)變測量技術(shù)分析尤為重要。 光學(xué)非接觸應(yīng)變測量技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車工程、材料科學(xué)等領(lǐng)域。湖北VIC-3D數(shù)字圖像相關(guān)應(yīng)變測量裝置

可以采用相似材料結(jié)構(gòu)模型實(shí)驗的手段，以鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)為研究對象，通過數(shù)字散斑的光學(xué)非接觸應(yīng)變測量方式，獲取強(qiáng)烈地震作用下模型表面的三維全場位移及應(yīng)變數(shù)據(jù)。應(yīng)變計作為應(yīng)變測量的工具，存在著貼片過程繁瑣，測量精度嚴(yán)重依賴其貼片質(zhì)量，對環(huán)境溫度敏感等問題。此外，應(yīng)變計無法進(jìn)行全場測量，難以捕捉到關(guān)鍵位置的變形出現(xiàn)的初始位置，當(dāng)框架結(jié)構(gòu)發(fā)生較大范圍變形或斷裂，應(yīng)變計在試件出現(xiàn)斷裂時容易損壞，影響測試數(shù)據(jù)的質(zhì)量。新疆全場數(shù)字圖像相關(guān)技術(shù)應(yīng)變測量研索儀器非接觸光學(xué)測量儀具有亞微米級位移分辨率，可捕捉微小變形（如MEMS器件熱膨脹）。

    對鋼材的性能測量主要是檢查裂紋、孔、夾渣等，對焊縫主要是檢查夾渣、氣泡、咬邊、燒穿、漏焊、未焊透及焊腳尺寸不夠等，對鉚釘或螺栓主要是檢查漏焊、漏檢、錯位、燒穿、漏焊、未焊透及焊腳尺寸等。檢驗方法主要有外觀檢驗、X射線、超聲波、磁粉及滲透性等。超聲波在金屬材料檢測中對頻率要求高，功率不需要過大，因此檢測靈敏度高，測試精度高。超聲檢測一般采用縱波檢測和橫波檢測（主要用來檢測焊縫）。用超聲檢查鋼結(jié)構(gòu)時，要求測量點(diǎn)的平整度、光滑。

光學(xué)是物理學(xué)的重要分支學(xué)科，也是與光學(xué)工程技術(shù)相關(guān)的學(xué)科。狹義來說，光學(xué)是關(guān)于光和視見的科學(xué)，而現(xiàn)在常說的光學(xué)是廣義的，是研究從微波、紅外線、可見光、紫外線直到x射線和γ射線的寬廣波段范圍內(nèi)的電磁輻射的產(chǎn)生、傳播、接收和顯示，以及與物質(zhì)相互作用的科學(xué)，著重研究的范圍是從紅外到紫外波段。它是物理學(xué)的一個重要組成部分，現(xiàn)多個領(lǐng)域使用到光學(xué)應(yīng)變測量數(shù)據(jù)，例如進(jìn)行破壞性實(shí)驗時，需要使用到非接觸式應(yīng)變測量光學(xué)儀器進(jìn)行高速的拍攝測量，但現(xiàn)有儀器上的檢測頭不便于穩(wěn)定調(diào)節(jié)角度，不便于多角度的進(jìn)行高速拍攝，影響到測量效果，且補(bǔ)光儀器不便調(diào)節(jié)前后位置。研索儀器光學(xué)非接觸應(yīng)變測量系統(tǒng)可結(jié)合DIC或干涉技術(shù)，實(shí)現(xiàn)三維應(yīng)變場可視化。

    常用的結(jié)構(gòu)或部件變形測量儀器有水平儀、經(jīng)緯儀、錘球、鋼卷尺、棉線、激光測位儀、紅外測距儀、全站儀等。構(gòu)件的變形形式有梁、屋架的撓曲、屋架的傾斜、柱的側(cè)向等，應(yīng)根據(jù)試驗對象的不同選用不同的方法及儀器。在測量小跨、屋架撓度時，可以采用簡易拉線法，或選用基準(zhǔn)點(diǎn)采用水平儀測平。房屋框架的傾斜變位測量，一般是將吊錘從上弦固定到下弦處，測量其傾斜值，記錄傾斜方向?？刹捎谜迟N10mm左右厚、50-80mm寬的石膏餅粘貼牢固，以判斷裂縫是否發(fā)展為宜，可采用粘貼石膏法。還可在裂縫的兩邊粘貼幾對手持應(yīng)變計，用手持應(yīng)變計測量變形發(fā)展情況。 光學(xué)非接觸應(yīng)變測量利用光學(xué)原理和方法，在不與被測物體直接接觸的情況下，測量物體的應(yīng)變情況。新疆全場三維非接觸應(yīng)變測量系統(tǒng)

光學(xué)非接觸測量可以測量物體表面的全場應(yīng)變分布，而不是只用于某個點(diǎn)或某個區(qū)域的應(yīng)變情況。湖北VIC-3D數(shù)字圖像相關(guān)應(yīng)變測量裝置

   動態(tài)基準(zhǔn)實(shí)時測量軟件用來獲取各測站點(diǎn)實(shí)時坐標(biāo)數(shù)據(jù)，其實(shí)質(zhì)是控制網(wǎng)的全自動測量。當(dāng)全站儀測站點(diǎn)位于變形區(qū)域，為及時得到測站點(diǎn)的位置信息，將測站點(diǎn)納入控制網(wǎng)，控制網(wǎng)的已知點(diǎn)位于變形區(qū)域外，即為監(jiān)測控制網(wǎng)中的基準(zhǔn)點(diǎn)。變形點(diǎn)監(jiān)測軟件包括各分控機(jī)上的監(jiān)測軟件和主控機(jī)上的數(shù)據(jù)庫管理軟件兩部分。分控機(jī)上的監(jiān)測軟件用來控制測量機(jī)器人按.要求的觀測時間、測量限差、觀測的點(diǎn)組進(jìn)行測量，并將測量的結(jié)果寫入主控機(jī)上的管理數(shù)據(jù)庫中。湖北VIC-3D數(shù)字圖像相關(guān)應(yīng)變測量裝置