從蝕刻速度及安全性的觀點來看,推薦為40℃至70℃,更推薦為45℃至55℃。處理時間視對象物的表面狀態(tài)及形狀等而變化,通常為30秒至120秒左右。實施例然后,對本發(fā)明的實施例與比較例一起進行說明。此外,本發(fā)明并非限定于下述實施例而解釋。制備表1及表2所示的組成的各蝕刻液,在下述條件下進行蝕刻試驗及蝕刻液的穩(wěn)定性試驗。此外,表1及表2所示的組成的各蝕刻液中,剩余部分為離子交換水。另外,表1及表2所示的鹽酸的濃度為以氯化氫計的濃度。(蝕刻試驗)通過濺鍍法在樹脂上形成50nm的鈦膜,然后成膜200nm的銅膜,進而通過電鍍銅在該銅膜上形成圖案,將所得的基板用作試樣。使用銅的蝕刻液,將試樣的濺鍍銅膜溶解而使鈦膜露出。然后,將試樣浸漬在實施例1至實施例12及比較例1至比較例3的蝕刻液中進行蝕刻實驗。將實驗結(jié)果示于表1。[表1]像表1所示那樣,本發(fā)明的蝕刻液可在不蝕刻銅的情況下選擇性地蝕刻鈦。(蝕刻液的穩(wěn)定性試驗)將實施例1、實施例7、實施例12及比較例4的蝕刻液在室溫下放置2天后,進行所述蝕刻試驗,比較放置前后的蝕刻速度。將比較結(jié)果示于表2。[表2]像表2所示那樣,本發(fā)明的蝕刻液的保存穩(wěn)定性優(yōu)異,即便在長期保存的情況下也可穩(wěn)定地選擇性地蝕刻鈦。天馬微電子用哪家蝕刻液更多?廣東江化微的蝕刻液蝕刻液私人定做
也很難保證拖車在地磅頂部不移動。在地磅的頂部平臺中設(shè)置有兩條卡塊40,卡塊與平臺之間形成一插槽,在地磅的頂部設(shè)置有包括氣缸50和壓緊塊60的氣動夾緊機構(gòu),壓緊塊位于插槽中,氣缸的伸縮桿與壓緊塊固連。拖車的邊緣沿插槽插入后,氣缸帶動壓緊塊下行將拖車緊緊壓在地磅的頂部。實施例二本實施例基于實施例一。如圖2所示,在拖車的頂部設(shè)置有一圈圍設(shè)在儲存罐外部的護欄70,以防止其它物品碰撞儲存罐。實施例三本實施例基于實施例一。如圖3所示,在拖車的頂部設(shè)置有一集液盒,儲存罐安裝在集液盒80中,過濾器的出液管及灌裝頭的快速接頭從儲存罐中拔出時滴落的鋁蝕刻液,由集液盒進行收集。實施例四本實施例基于實施例一。如圖4所示,拖車的頂部于儲存罐的旁側(cè)設(shè)置有集液腔室22,過濾器的出液管及灌裝頭的快速接頭從儲存罐中拔出時滴落的鋁蝕刻液被集液腔室內(nèi)收集。綜上所述,將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐,并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產(chǎn)車間與自動灌裝車間之中周轉(zhuǎn),如此便可為鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備配備全自動灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,又降低了企業(yè)的人力成本投入;而且,將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐。合肥格林達蝕刻液銷售廠哪家公司的蝕刻液的是口碑推薦?
更推薦滿足。參照圖4,在添加劑(硅烷系偶聯(lián)劑)的aeff處于,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良**少化,在硅烷系偶聯(lián)劑的aeff處于,能夠使氧化物膜損傷不良**少。因此,在利用上述范圍所重疊范圍(規(guī)格(spec)滿足區(qū)間)即aeff為2以上,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良以及氧化物膜損傷不良**少化。在上述添加劑的aeff值處于上述范圍內(nèi)的情況下,上述添加劑可以具有適宜水平的防蝕能力,由此,即使沒有消耗費用和時間的實際的實驗過程,也能夠選擇具有目標(biāo)防蝕能力的硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑。本發(fā)明的上述硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑推薦按照保護對象膜(氧化物膜)的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加。例如,對于包含氧化物膜(例如,sio2)和上述氧化物膜上的氮化物膜(例如,sin)的膜在160℃以添加劑濃度1000ppm基準(zhǔn)處理10,000秒的情況下,推薦按照保護對象膜的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度添加。本發(fā)明的添加劑的防蝕能力可以通過上述添加劑的aeff值與濃度之積來計算,由蝕刻程度(etchingamount,e/a)來表示。蝕刻程度的正的值表示蝕刻工序后厚度增加。
經(jīng)除霧組件3除霧后的氣體會夾帶著泡沫,泡沫中還是含有銅元素,為進一步提高回收效率,需對氣體和泡沫進行分離,泡沫與絲網(wǎng)碰撞時會吸附在絲網(wǎng)的細(xì)絲表面,細(xì)絲表面上泡沫不斷累積和泡沫的重力沉降,使泡沫形成較大的液滴沿細(xì)絲流至兩根絲的交點,當(dāng)液滴累積至其自身產(chǎn)生的重力超過氣體的上升力和液體表面張力合力時,液滴就從細(xì)絲上分離下落,氣體在通過絲網(wǎng)除沫后,基本上不含泡沫。在一個實施例中,如圖1所示,所述分離器設(shè)有液位計7、液位開關(guān)9、液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。蒸汽從加熱器11到分離器會因分離器內(nèi)壓力小而發(fā)生閃蒸,產(chǎn)生二次蒸汽,使氣液分離的效率更高,所以要維持分離器內(nèi)的壓力不變,通過觀察液位計7來使用液位開關(guān)9控制分離器內(nèi)壓力穩(wěn)定,保證分離器的工作狀態(tài)在設(shè)計的狀態(tài)下。在一個實施例中,如圖1所示,所述液位計7連接有液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8將分離器內(nèi)的工作情況反映到液位計7,工作人員可以通過觀察液位計7知道分離器內(nèi)的工作情況。液相氣相溫度傳感器6采用漂浮式傳感器,在分離器內(nèi)液面處工作,壓力傳感器8安裝在分離器底部,有效測量分離器內(nèi)液壓。在一個實施例中,如圖1所示。使用蝕刻液需要什么條件。
其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉(zhuǎn)動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風(fēng)刀裝置的***風(fēng)刀的下端部的方向移動。如上所述的蝕刻方法,其中風(fēng)刀裝置分別借由一設(shè)置于該輸送裝置的上端部的***風(fēng)刀與一設(shè)置于該輸送裝置的下端部的第二風(fēng)刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,本實用新型所產(chǎn)生的技術(shù)效果:本實用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復(fù)數(shù)個宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計,有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異常現(xiàn)象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)致的基板刮傷或破片風(fēng)險等主要優(yōu)勢。附圖說明圖1:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)的整體設(shè)置示意圖。圖2:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖4:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖5:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。哪家蝕刻液的的性價比好。揚州哪家蝕刻液蝕刻液推薦貨源
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很好的對注入量進行精確控制,提高了該裝置的制備純度。附圖說明圖1為本實用新型的整體示意圖;圖2為本實用新型的a處放大示意圖;圖3為本實用新型的b處放大示意圖;圖4為本實用新型翻折觀察板沿a-a方向的截面示意圖。圖中:1、制備裝置主體,2、高效攪拌裝置,3、過濾除雜裝置,4、翻折觀察板,401、觀察窗翻折滾輪,402、內(nèi)嵌觀察窗,5、裝置底座,6、成品罐,7、鹽酸裝罐,8、硝酸裝罐,9、熱水流入漏斗,10、加固支架,11、防燙隔膜,12、旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,13、運轉(zhuǎn)電機組,14、震蕩彈簧件,15、控制面板,16、致密防腐桿,17、攪動孔,18、注入量控制容器,19、注入量觀察刻度線,20、限流銷,21、負(fù)壓引流器,22、嵌入引流口。具體實施方式下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例,基于本實用新型中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖1-4,本實用新型提供一種技術(shù)方案:一種ito蝕刻液制備裝置,包括制備裝置主體1、高效攪拌裝置2和過濾除雜裝置3。廣東江化微的蝕刻液蝕刻液私人定做