對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例,基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。實(shí)施例一,請(qǐng)參閱圖1-4,本實(shí)用新型提供技術(shù)方案:高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機(jī)4,裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2,裝置主體1的后面一側(cè)底部固定連接有電源線3,裝置主體1的一側(cè)中間部位固定連接有控制器5,裝置主體1的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機(jī)4,裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲(chǔ)罐14,裝置主體1的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲(chǔ)罐15,磷酸儲(chǔ)罐15的底部固定連接有攪拌倉(cāng)23,攪拌倉(cāng)23的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機(jī)13,攪拌倉(cāng)23的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲(chǔ)罐16,裝置主體1的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲(chǔ)罐17,裝置主體1的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐18,陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐18的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲(chǔ)罐19,裝置主體1的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲(chǔ)罐20。蝕刻液的價(jià)格哪家比較優(yōu)惠?合肥京東方用的蝕刻液蝕刻液銷售廠
為本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖,以及其三較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖,在本實(shí)用新型其二較佳實(shí)施例中,開(kāi)設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥(niǎo)排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,例如:圖4中所示的w1,其中w1大于圖3的w或圖5的w2,其中w2大于w,而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細(xì)現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時(shí),則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請(qǐng)參閱圖6與圖7所示,為本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖,以及擋液板結(jié)構(gòu)運(yùn)作局部放大圖,其中本實(shí)用新型的蝕刻設(shè)備1設(shè)置于一濕式蝕刻機(jī)的一槽體(圖式未標(biāo)示)內(nèi),該蝕刻設(shè)備1包括有一如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)10、一輸送裝置30、一基板20,以及一風(fēng)刀裝置40,其中本實(shí)用新型主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的擋液板結(jié)構(gòu)10搭配該風(fēng)刀裝置40的硬體設(shè)計(jì),有效使該風(fēng)刀裝置40吹出的氣體43得以由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121宣泄。安慶天馬用的蝕刻液蝕刻液聯(lián)系方式蝕刻液蝕刻后如何判斷好壞 ?
注入量精確調(diào)配裝置通過(guò)嵌入引流口2接入鹽酸裝罐7進(jìn)行原料注入,工作人員通過(guò)負(fù)壓引流器21將鹽酸硝酸引向注入量控制容器18內(nèi),通過(guò)觀察注入量控制容器18內(nèi)的注入量觀察刻度線19對(duì)注入量進(jìn)行精確控制,當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的注入量時(shí)將限流銷20插入進(jìn)行限流即可,很好的對(duì)注入量進(jìn)行精確控制,提高了該裝置的制備純度。工作原理:首先,通過(guò)設(shè)置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內(nèi),從而很好的減小了發(fā)生反應(yīng)的劇烈程度,很好的起到了保護(hù)作用。然后,通過(guò)設(shè)置加固支架10,加固支架10為連接在兩側(cè)底座支柱的三角結(jié)構(gòu),利用三角結(jié)構(gòu)穩(wěn)定原理對(duì)裝置底座5起到了很好的加固效果。接著,通過(guò)設(shè)置防燙隔膜11,防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料,能夠很好的防止工作人員被燙傷,很好的體現(xiàn)了該裝置的防燙性。緊接著,通過(guò)設(shè)置高效攪拌裝置2,該裝置通過(guò)運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤(pán)12,使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤(pán)12帶動(dòng)高效攪拌裝置2進(jìn)行旋轉(zhuǎn)搖勻,同時(shí)設(shè)置的震蕩彈簧件14可通過(guò)驅(qū)動(dòng)對(duì)高效攪拌裝置2進(jìn)行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內(nèi)部的蝕刻液通過(guò)內(nèi)置的致密防腐桿16,致密防腐桿16內(nèi)部的攪動(dòng)孔17能夠使蝕刻液不斷細(xì)化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉。
鋁蝕刻液是鋁蝕刻液STM-AL100。根據(jù)查詢相關(guān)信息顯示:鋁蝕刻液STM-AL100是一款專為蝕刻鋁目的去設(shè)計(jì)的化學(xué)品,STM-AL100的組成有主要蝕刻化學(xué)品,添加劑,輔助化學(xué)品,對(duì)于控制蝕刻均勻以及穩(wěn)定的蝕刻速率一定的效果,在長(zhǎng)效性的表現(xiàn)上更是無(wú)話可說(shuō).在化學(xué)特性上,鋁金屬容易受到酸性以及堿性的化學(xué)品攻擊,本化學(xué)品設(shè)計(jì)上為酸性配方且完全可被水溶解,故無(wú)須再花額外的成本在廢水處理上.用在生產(chǎn)的用途可以調(diào)整藥液溫度來(lái)調(diào)整蝕刻速率,所以本化學(xué)品對(duì)于初次使用者來(lái)說(shuō),是簡(jiǎn)單容易上手。蘇州有哪些公司可以做蝕刻液。
負(fù)的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,能夠使上述氮化物膜去除工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問(wèn)題**少化。本發(fā)明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜時(shí),能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良(參照?qǐng)D2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照?qǐng)D3)的發(fā)生**少化。因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良在添加劑的防蝕能力強(qiáng)于適宜水平時(shí)發(fā)生,氧化物膜不良在添加劑的防蝕能力弱于適宜水平時(shí)發(fā)生。以下,對(duì)于本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的磷酸、作為添加劑的硅烷(silane)系偶聯(lián)劑以及進(jìn)行更詳細(xì)的說(shuō)明。(a)磷酸本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作為主氧化劑可以在使氮化物膜氧化時(shí)使用。相對(duì)于組合物總重量,上述磷酸的含量為50~95重量%,推薦為80~90重量%。在上述磷酸的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下。天馬微電子用哪家蝕刻液更多?廣州京東方用的蝕刻液蝕刻液配方技術(shù)
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本實(shí)用涉及蝕刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種ito蝕刻液制備裝置。背景技術(shù):蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù),蝕刻技術(shù)分為濕蝕刻和干蝕刻,其中,濕蝕刻是采用化學(xué)試劑,經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)達(dá)到蝕刻的目的,薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管液晶顯示器(tft~lcd)、發(fā)光二極管(led)、有機(jī)發(fā)光二極管(oled)等行業(yè)用作面板過(guò)程中銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜(ito)的蝕刻通常采用鹽酸和硝酸的混合水溶液?,F(xiàn)有的制備裝置在進(jìn)行制備時(shí)會(huì)發(fā)***熱反應(yīng),使得裝置外殼穩(wěn)定較高,工作人員直接接觸有燙傷風(fēng)險(xiǎn),熱水與鹽酸接觸會(huì)產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng),濺出容易傷害工作人員,保護(hù)性不足,鹽酸硝酸具有較強(qiáng)的腐蝕性,常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕,影響蝕刻液的質(zhì)量,用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進(jìn)行攪拌,成本過(guò)高,且混合的效果不好。所以,如何設(shè)計(jì)一種ito蝕刻液制備裝置,成為當(dāng)前要解決的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于提供一種ito蝕刻液制備裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的ito蝕刻液制備裝置保護(hù)性不足、不具備很好的防腐蝕性和混合的效果不好的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種ito蝕刻液制備裝置,包括制備裝置主體、高效攪拌裝置和過(guò)濾除雜裝置。合肥京東方用的蝕刻液蝕刻液銷售廠