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企業(yè)商機(jī)
蝕刻液基本參數(shù)
  • 品牌
  • 博洋化學(xué)
  • 產(chǎn)品名稱
  • 鉬鋁鉬蝕刻液
  • 純度級(jí)別
  • 超純/高純
  • 類別
  • 無機(jī)酸
  • 產(chǎn)品性狀
  • 液態(tài)
蝕刻液企業(yè)商機(jī)

    silane)系偶聯(lián)劑和水,上述硅烷系偶聯(lián)劑使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。此外,提供一種選擇硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其特征在于,選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。發(fā)明效果本發(fā)明的蝕刻液組合物提供即使不進(jìn)行另外的實(shí)驗(yàn)確認(rèn)也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優(yōu)異的硅烷系偶聯(lián)劑的效果。此外,本發(fā)明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時(shí)*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時(shí)氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發(fā)生的工序不良的圖。圖4是示出能夠?qū)?dnand閃存制造工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯(lián)劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯(lián)劑的aeff值與蝕刻程度。哪家公司的蝕刻液是比較劃算的?南京市面上哪家蝕刻液主要作用

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    將蝕刻液通過回流管抽入到一號(hào)排液管中,并由進(jìn)液管導(dǎo)入到伸縮管中,直至蝕刻液由噴頭重新噴到電解池中,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉(zhuǎn)化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用;該回收處理裝置通過設(shè)置有伸縮管與伸縮桿,能夠在蝕刻液通過進(jìn)液管流入到電解池中時(shí),啟動(dòng)液壓缸帶動(dòng)伸縮桿向上移動(dòng),從而通過圓環(huán)塊配合伸縮管帶動(dòng)噴頭向上移動(dòng),進(jìn)而將蝕刻液緩慢的由噴頭噴入到電解池中,避免蝕刻液對(duì)電解池造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護(hù)電解池的功能;該回收處理裝置通過設(shè)置有集氣箱與蓄水箱,能夠在電解蝕刻液結(jié)束后,啟動(dòng)抽氣泵,將電解池中產(chǎn)生的有害氣體抽入到排氣管并導(dǎo)入到集氣箱中,實(shí)現(xiàn)有害氣體的清理,接著啟動(dòng)增壓泵并打開三號(hào)電磁閥,將蓄水箱中的清水通過抽水管抽入到進(jìn)液管中,將裝置主體內(nèi)部的蝕刻液進(jìn)行清洗,具有很好的清理作用。附圖說明圖1為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本發(fā)明圖2中a的示意圖;圖4為本發(fā)明圖3的整體示意圖;圖5為本發(fā)明電解池的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:1、裝置主體;2、分隔板;3、承載板;4、電解池;5、隔膜;6、進(jìn)液漏斗;7、過濾網(wǎng);8、進(jìn)液管;9、伸縮管;10、噴頭;11、液壓缸。池州格林達(dá)蝕刻液哪家的蝕刻液性價(jià)比比較高?

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ITO蝕刻液的分類:已經(jīng)使用的蝕刻液類型有六種類型:酸性氯化銅、堿性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。酸性氯化銅,工藝體系,根據(jù)添加不同的氧化劑又可細(xì)分為氯化銅+空氣體系、氯化銅+氯酸鈉體系、氯化銅+雙氧水體系三種蝕刻工藝,在生產(chǎn)過程中通過補(bǔ)加鹽酸+空氣、鹽酸加氯酸鈉、鹽酸+雙氧水和少量的添加劑來實(shí)現(xiàn)線路板板的連續(xù)蝕刻生產(chǎn)。ITO蝕刻液由氟化銨、草酸、硫酸鈉、氫氟酸、硫酸、硫酸銨、甘油、水組成。江蘇TIO去膜液生產(chǎn)商ITO顯影劑就是一種納米導(dǎo)光性能的材料合成的。

    該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等,且該上孔徑a1小于該下孔徑a2,或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮,以維持毛細(xì)現(xiàn)象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題。當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板(本圖式未標(biāo)示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時(shí),該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會(huì)往該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121流動(dòng),并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現(xiàn)象,亦可達(dá)到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;為了必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,故該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達(dá)到防止位于該第二擋板12上表面的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖12所示)。另請(qǐng)參閱圖13所示,為本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備的蝕刻方法的步驟流程圖,其中本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備的蝕刻方法主要包括有下列步驟。華星光電用的哪家的蝕刻液?

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    本實(shí)用涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置。背景技術(shù):近年來,人們對(duì)半導(dǎo)體裝置、液晶顯示器的需求量不斷增加的同時(shí),對(duì)于這些裝置所具有的配線、電極等的微小化、高性能化的要求也越來越嚴(yán)格,而蝕刻的效果能直接導(dǎo)致電路板制造工藝的好壞,影響高密度細(xì)導(dǎo)線圖像的精度和質(zhì)量,為了解決蝕刻液組合物蝕刻鋁材料過程中,對(duì)蝕刻速率慢、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的多層配線的半導(dǎo)體裝置的配線的斷路、短路,得到較高的成品率,為保證其穩(wěn)定性及蝕刻的平滑度及精度,在蝕刻液中需要加入多種組分,而常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合?,F(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置密封性差,連接安裝步驟繁瑣,還需要使用工具才能進(jìn)行連接安裝或拆卸,而且現(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置沒有過濾的部件,蝕刻液中的各組份蝕刻液雜質(zhì)含量多,且多種強(qiáng)酸直接共混存在較大的安全隱患,裝置不夠完善,難以滿足現(xiàn)代社會(huì)的需求。所以,如何設(shè)計(jì)高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,成為我們當(dāng)前需要解決的問題。蝕刻液的主要成分是什么?四川銅蝕刻液蝕刻液推薦廠家

蝕刻液適用于哪些行業(yè)。南京市面上哪家蝕刻液主要作用

    技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機(jī),所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側(cè)底部固定連接有電源線,所述裝置主體的一側(cè)中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機(jī),所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲(chǔ)罐,所述裝置主體的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲(chǔ)罐,所述磷酸儲(chǔ)罐的底部固定連接有攪拌倉,所述攪拌倉的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機(jī),所述攪拌倉的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲(chǔ)罐,所述裝置主體的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲(chǔ)罐,所述裝置主體的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐,所述陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲(chǔ)罐,所述裝置主體的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲(chǔ)罐,所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲(chǔ)罐,所述裝置主體的內(nèi)部中間部位固定連接有連接構(gòu)件。南京市面上哪家蝕刻液主要作用

蝕刻液產(chǎn)品展示
  • 南京市面上哪家蝕刻液主要作用,蝕刻液
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