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企業(yè)商機(jī)
BOE蝕刻液基本參數(shù)
  • 品牌
  • 博洋化學(xué)
  • 產(chǎn)品名稱
  • BOE蝕刻液
  • 純度級(jí)別
  • 電子純MOS
  • 類別
  • 無(wú)機(jī)鹽
  • 產(chǎn)品性狀
  • 液態(tài)
BOE蝕刻液企業(yè)商機(jī)

    名稱:含有全氟丁基醚的組合物的制作方法含有全氟丁基醚的組合物本發(fā)明涉及共沸或共沸型的全氟丁基醚混合物或組合物。更具體地說,本發(fā)明的一個(gè)主題是包含至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物。地球大氣阻擋了來自于地球的IR發(fā)射,這是導(dǎo)致溫室效應(yīng)和有利于生命的適度溫度的原因。在大氣中,主要是二氧化碳0)2導(dǎo)致這種自然界的溫室效應(yīng)。人類排放的某些氣體(包括來自化石燃料的co2)增強(qiáng)了該效應(yīng),導(dǎo)致全球變暖及其對(duì)于氣候的影響暴風(fēng)雨、洪水、浮冰表面積的變化和冰)I丨消退。京都議定書(1997)的目標(biāo)是相對(duì)于1990年(基準(zhǔn)年),在20082012年的承諾期間內(nèi),使6種溫室氣體(C02、CH4、N20、HFC、PFC、SF6)的全球排放減少5%。給定產(chǎn)物的溫室效應(yīng)通過其GWP(全球變暖潛勢(shì))量化,所述GWP不僅考慮了分子對(duì)輻射吸收的固有作用而且還考慮了分子在大氣中的壽命(或者等同于相同的特征,如在給定時(shí)期(通常為1個(gè)世紀(jì))內(nèi)的該分子的濃度)。所述GWP相對(duì)于作為參比氣體的C02全A屮圣口田O氟化溶劑長(zhǎng)期用于高技術(shù)工業(yè)(例如電子、航空、精密機(jī)械或醫(yī)藥部門)。在這些領(lǐng)域中,目標(biāo)總是相同的,即獲得非常高清潔度的表面。BOE蝕刻液使用時(shí)要注意什么?河南專業(yè)BOE蝕刻液銷售公司

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,待加熱到確定溫度后,放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻;蝕刻完后,取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,使用橢圓偏振光譜儀對(duì)蝕刻前所取位置的6個(gè)點(diǎn)的厚度進(jìn)行測(cè)量,計(jì)算蝕刻前后6個(gè)取點(diǎn)的厚度差值,對(duì)比6個(gè)點(diǎn)之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發(fā)明的有益效果是:醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤(rùn)性和降低磷酸溶液的表面張力,有效提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤(rùn)濕性和蝕刻均勻性。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本發(fā)明,對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明,但不限于這些實(shí)施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時(shí)選擇的磷酸濃度為85%,蝕刻溫度為160℃,蝕刻時(shí)間為10min。先對(duì)所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測(cè),然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,進(jìn)行接觸角的測(cè)量;蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,在氮化硅樣片上?個(gè)不同位置的點(diǎn)對(duì)其厚度進(jìn)行測(cè)量;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,取與蝕刻前相同位置的6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度測(cè)量。實(shí)施例1本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中。河南專業(yè)BOE蝕刻液銷售公司

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