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甲酸爐設(shè)備如何實(shí)現(xiàn)甲酸蒸汽的精確定量供給？

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廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-06

采用高精度計(jì)量泵（精度 ±0.1μL）與質(zhì)譜儀在線監(jiān)測(cè)，實(shí)時(shí)計(jì)算甲酸消耗量并自動(dòng)補(bǔ)充。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的甲酸供給系統(tǒng)支持 “按需噴射” 模式，在活化階段注入試劑，利用率提升至 95% 以上。

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簡(jiǎn)介：廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主營(yíng)真空固晶回流焊、熱風(fēng)氮?dú)夂附釉O(shè)備及無(wú)氧銀漿烤箱等設(shè)備。
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廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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廣東省東莞市市轄區(qū)廣東省東莞市松山湖園區(qū)中集產(chǎn)城數(shù)字科技產(chǎn)業(yè)園中區(qū)2棟3單元
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