甲酸爐設(shè)備的緊急排空系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間是多少？

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廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-07

緊急排空閥全開(kāi)時(shí)間≤2 秒，可在 30 秒內(nèi)將腔體壓力從常壓降至安全水平。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的排空管路采用大口徑設(shè)計(jì)（直徑≥100mm），確保甲酸蒸汽快速排出。

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簡(jiǎn)介：廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主營(yíng)真空固晶回流焊、熱風(fēng)氮?dú)夂附釉O(shè)備及無(wú)氧銀漿烤箱等設(shè)備。

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