賽瑞達(dá)智能電子裝備（無(wú)錫）有限公司2025-03-08

臥式爐加熱裝置一般采用電阻絲、硅碳棒等作為發(fā)熱元件。當(dāng)電流通過(guò)這些加熱元件時(shí)，電能轉(zhuǎn)化為熱能，進(jìn)而使?fàn)t腔內(nèi)部溫度升高。為確保爐腔內(nèi)溫度均勻，加熱元件的布局經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)，可能呈環(huán)繞爐腔或特定排列方式。一些先進(jìn)的臥式爐還配備分區(qū)加熱控制功能，能夠針對(duì)爐腔不同區(qū)域進(jìn)行單獨(dú)溫度調(diào)節(jié)，以滿足復(fù)雜工藝對(duì)不同部位溫度的差異化需求，確保半導(dǎo)體材料在加熱過(guò)程中受熱均勻，保障工藝質(zhì)量。?

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