賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司2025-04-19
在低壓環(huán)境下,先把氣體源(也就是氣態(tài)前驅(qū)物)引入反應(yīng)室。接著將基片加熱到特定溫度,使氣體前驅(qū)物能發(fā)生反應(yīng)。當(dāng)氣體分子與基片表面接觸,就會(huì)分解或進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)沉積物,也就是我們要的薄膜材料,同時(shí)還會(huì)釋放出氣體副產(chǎn)物。整個(gè)過(guò)程通過(guò)控制低壓條件,讓反應(yīng)更可控,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜沉積。
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