廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-05

采用全腔體預(yù)熱技術(shù)（預(yù)熱溫度≥80℃）和管路伴熱設(shè)計(jì)（溫度波動 ±1℃），確保甲酸蒸汽在傳輸過程中保持氣態(tài)。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的甲酸注入系統(tǒng)配備超聲波霧化器，將液態(tài)甲酸轉(zhuǎn)化為納米級霧滴，進(jìn)一步降低冷凝風(fēng)險(xiǎn)。

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