廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-27

設(shè)備采用雙門互鎖結(jié)構(gòu)和多重密封技術(shù)，結(jié)合高效氣體置換算法，通過進(jìn)氣口通入高純惰性氣體，同時通過出氣口排出腔體空氣，配合氧傳感器實時反饋，實現(xiàn)無氧環(huán)境的快速建立和穩(wěn)定維持。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的設(shè)備支持自動補(bǔ)氣模式，確保長時間連續(xù)生產(chǎn)時氧含量波動≤±5ppm。

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