廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-27

支持。設(shè)備腔體內(nèi)部尺寸可根據(jù)客戶需求定制，兼容從 50mm×50mm 小尺寸基板到 300mm 晶圓托盤的多樣化規(guī)格。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司提供可調(diào)節(jié)的托盤支架和傳輸系統(tǒng)，確保不同尺寸工件在無氧環(huán)境中均勻受熱。

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