廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-02

爐腔內(nèi)壁采用防靜電涂層（表面電阻 10?-10?Ω），吊籃夾具使用導(dǎo)電硅膠材質(zhì)，配合接地端子確保靜電有效釋放。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的立式爐通過 ESD 認(rèn)證，靜電電壓可控制在 ±100V 以內(nèi)，滿足 ESD S20.20 標(biāo)準(zhǔn)。

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