晶圓測試是在半導體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟。在此步驟中，在將晶圓送至芯片準備之前執(zhí)行，晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進行引用：晶圓終端測試(WFT)、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的。晶圓探針器是用于測試集成電路的機器（自動測試設(shè)備）。對于電氣測試，一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當?shù)奈恢茫瑫r真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。實現(xiàn)芯片測試的途徑就是探針卡。山東自動探針臺一般多少錢
探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。晶圓測試是芯片制造產(chǎn)業(yè)中一個重要組成部分，是主要的芯片良品率統(tǒng)計方法之一。隨著晶圓片直徑的逐漸增大且密度逐漸提高，晶圓測試的難度和成本也越來越高，也使得芯片需要更長的測試時間以及更加精密復雜的機械裝置和計算機系統(tǒng)來執(zhí)行測試工作和監(jiān)控測試結(jié)果。四川直流探針臺加工廠家探針卡常見故障分析及維護方法：芯片測試是IC制造業(yè)里不可缺少的一個重要環(huán)節(jié)。
定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴重將造成設(shè)備無法使用而報廢。由于平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗。
探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備，在芯片的設(shè)計驗證階段，主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達到芯片的技術(shù)指標，在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查，只有通過設(shè)計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)ｉT的測試代工廠進行，主要用到的設(shè)備為測試機和探針臺。半導體行業(yè)向來有“一代設(shè)備，一代工藝，一代產(chǎn)品”的說法。半導體設(shè)備價值普遍較高，一條先進半導體生產(chǎn)線投資中，設(shè)備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。隨著全球半導體行業(yè)市場規(guī)模不斷擴大，半導體設(shè)備市場也呈增長趨勢。根據(jù)SEMI統(tǒng)計，全球半導體設(shè)備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元，年復合增長率約為15.2%，但受到半導體行業(yè)景氣度下滑及宏觀經(jīng)濟環(huán)境影響，2019年、2020年一季度增長有所下降，但預計疫病過后，將恢復增長。探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置，檢查針的牢固性。
手動探針臺規(guī)格描述（以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸，六寸探針臺為例）：探針臺載物臺平整度：5μm探針臺右側(cè)標配顯微鏡升降機構(gòu)，可抬高顯微鏡，便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標配升降器,可快速升降臺面8mm，并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪，可微調(diào)控制臺面升降范圍25mm（客戶有特殊需求，可以增大范圍），精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式，中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，標配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動，移動范圍為150mmor200mm，移動精度為1μm載物臺具備快速導入導出功能。手動或者自動移動晶圓片，并通過探針卡實現(xiàn)這一部分的電子線路連接。重慶全自動探針臺
平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開。山東自動探針臺一般多少錢
自動化探針臺搭配測試機能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學參數(shù)進行測試，根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量，并指導下一道工序。從全球市場看，半導體探針臺設(shè)備行業(yè)集中度較高，目前主要由國外廠商主導，行業(yè)呈現(xiàn)較高壟斷的競爭格局。鑒于自動化探針臺是光、機、電高度一體化的產(chǎn)品，國內(nèi)在這一方向研究幾乎為零，市場主要被一些國外的大公司壟斷。2017年投產(chǎn)X系列半自動探針臺并成功推向市場，成功填補國內(nèi)該研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域的空白。山東自動探針臺一般多少錢
