所述控制器進(jìn)行第二次減薄厚度確認(rèn)操作;具體的,通過設(shè)置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測量儀進(jìn)行厚度檢測,從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作,當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時,所述玻璃加工治具4可再次進(jìn)入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進(jìn)行減薄處理。所述主厚度測量儀32設(shè)置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實時測量玻璃厚度,使得玻璃可更準(zhǔn)確地具有目標(biāo)厚度;所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中,并且再次測量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作,并且使減薄玻璃的缺陷率降至;且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測量儀32是否無法正確工作;所述第二輔助厚度測量儀設(shè)置在所述第三沖洗區(qū)2,從而在減薄后清洗終完成后,再次進(jìn)行厚度檢測,從而檢測預(yù)從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運出的玻璃是否符合標(biāo)準(zhǔn),并進(jìn)一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發(fā)明的較佳實施例,對本發(fā)明而言是說明性的,而非限制性的。本專業(yè)技術(shù)人員理解,在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對其進(jìn)行許多改變,修改,甚至等效,但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。輕松去除過厚涂層,減薄用清洗劑是您理想的選擇。浙江好用的減薄用清洗劑銷售廠
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降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。由于本發(fā)明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進(jìn)行了固定,因此,對待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后,還包括:對待加工部件進(jìn)行清洗;采用特定溶液對光刻膠進(jìn)行腐蝕,以將待加工部件與托盤分離。具體地,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮氣吹干。之后,將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例提供的方法,還包括:在磁轉(zhuǎn)子運行一段時間后,更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后,可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子,以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處,各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言,由于其與實施例公開的方法相對應(yīng),所以描述的比較簡單,相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對所公開的實施例的上述說明。
圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖;圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中數(shù)字表示:1-轉(zhuǎn)換區(qū);2-沖洗區(qū);3-蝕刻區(qū);4-玻璃加工治具;31-腔室;32-主厚度測量儀;33-噴淋組件;41-底座;42-支撐架;43-底支撐件;44-側(cè)支撐件;421-豎直平板;422-側(cè)板;423-固定板;424-水平槽;425-豎直槽;426-固定槽;427-固定卡塊;428-定位槽;429-定位孔;431-支撐條;432-第二支撐條;433-連接部;434-接觸部;435-磁性件;436-第二磁性件;437-限位孔;438-限位塊;439-第二限位塊。具體實施方式以下結(jié)合附圖,對本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點作更詳細(xì)的說明。實施例一如圖1所示,圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖;本發(fā)明中所述玻璃減薄設(shè)備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3,所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間,豎直容納在玻璃加工治具4中的多個玻璃通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中,在所述沖洗區(qū)2中進(jìn)行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。哪家公司的減薄用清洗劑的是有質(zhì)量保障的?
通過旋緊螺釘使螺釘?shù)亩祟^部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸,從而實現(xiàn)對所述連接部433的固定,避免所述連接部433在振動時發(fā)生脫離等情況。同時螺釘?shù)脑O(shè)置,可實現(xiàn)所述底支撐件43結(jié)構(gòu)的快速裝卸,便于維修更換。值得指出的是,為達(dá)到防止所述連接部433脫離的效果,所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設(shè)置為螺釘,通過在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設(shè)置橫截面合適的部件,使所述限位塊438、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接,即可實現(xiàn)螺釘?shù)男Ч?。所述接觸部434設(shè)置有弧形槽,玻璃的下邊緣設(shè)置于所述弧形槽內(nèi),從而實現(xiàn)所述底支撐件43對玻璃的位置固定。在進(jìn)行減薄或其他加工過程中,玻璃通過所述玻璃加工治具4進(jìn)行移動或放置時,均會產(chǎn)生振動;同時在進(jìn)行蝕刻沖刷時,在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定,易使玻璃產(chǎn)生彎曲,通過所述底支撐件43的結(jié)構(gòu)設(shè)置,可實現(xiàn)設(shè)置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐,有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力,避免振動或沖擊對玻璃帶來的損傷;同時可有效降低所述玻璃加工治具4往復(fù)移動帶來的振動,使玻璃底部在所述連接部433的限制下進(jìn)行小幅度的移動,在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動。去除涂層,減薄用清洗劑是您的得力助手。安徽玻璃用減薄用清洗劑配方技術(shù)
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