可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時(shí)，值得指出的時(shí)，所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具體的，所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽，所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽，對(duì)應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板，所述安裝板對(duì)應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個(gè)所述固定塊，所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，通過(guò)將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過(guò)所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定，同時(shí)，通過(guò)所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置，可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié)，從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃，并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時(shí)放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理。實(shí)施例五一般的，對(duì)于實(shí)施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu)，可通過(guò)調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示，圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司清洗劑；杭州清洗效果好的減薄用清洗劑生產(chǎn)

    銅清洗劑品牌四輝科技系列清洗系列是否危險(xiǎn)化學(xué)品否是否進(jìn)口否產(chǎn)地廣東東莞主營(yíng)產(chǎn)品：工業(yè)清洗劑表面處理劑研磨液拋光設(shè)備東莞市四輝表面處理有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)東莞凈徹供應(yīng)銅光亮劑系列鍍銅光亮劑堿銅清洗劑類(lèi)別銅光亮劑型號(hào)JC-031主要用途除油執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)CAS2016主營(yíng)產(chǎn)品：設(shè)備油污清洗劑金屬除油除銹劑除垢除銹劑水處理殺菌滅藻劑￥東莞市凈徹清洗劑科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)供應(yīng)溫州甌北閥門(mén)酸洗清洗光亮劑主營(yíng)產(chǎn)品：其他化學(xué)試劑工業(yè)用清洗劑其他加工助劑生化試劑￥溫州奧洋金屬表面處理有限公司所在地：浙江溫州在線詢價(jià)銅拋光光亮清洗劑是否進(jìn)口否產(chǎn)地液體類(lèi)別酸性清洗液型號(hào)JPL-809品牌捷普利產(chǎn)品名稱(chēng)銅光亮清洗劑主營(yíng)產(chǎn)品：五金材料化工產(chǎn)品研發(fā)銷(xiāo)售￥惠州市捷普利電子科技有限公司所在地：廣東惠州在線詢價(jià)【貽順】供應(yīng)多用途的金屬擦亮劑洗銅水銅擦亮劑產(chǎn)品名稱(chēng)金屬擦亮劑品牌貽順系列工業(yè)清洗劑是否危險(xiǎn)化學(xué)品是是否進(jìn)口否產(chǎn)地廣州主營(yíng)產(chǎn)品：金屬表面處理劑金屬工藝液工業(yè)用清洗劑信息化學(xué)產(chǎn)品￥廣州市貽順化工有限公司所在地：廣東廣州在線詢價(jià)銅清洗光亮工藝銅怎么洗亮類(lèi)別酸性清洗液型號(hào)OY-54主要用途銅清洗光亮執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)。蕪湖好用的減薄用清洗劑哪里買(mǎi)口碑好的減薄用清洗劑的公司聯(lián)系方式。

    產(chǎn)生不良次品；同時(shí)由于所述側(cè)支撐件44的移動(dòng)，可帶動(dòng)玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的，所述底座41和實(shí)施支撐架42上均設(shè)置有若干流通孔，所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi)。實(shí)施例四所述支撐架42包括對(duì)應(yīng)設(shè)置的架體和第二架體，所述架體和所述第二架體均固定設(shè)置在所述底座41上，所述架體包括平行對(duì)應(yīng)設(shè)置的兩豎直平板421，所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對(duì)應(yīng)兩側(cè)板422，所述架體和所述第二架體形成盛放部，玻璃設(shè)置在所述盛放部?jī)?nèi)；所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設(shè)置于所述底座41上，也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設(shè)置有若干所述側(cè)支撐件44，且所述側(cè)支撐件44對(duì)應(yīng)所述底支撐件43設(shè)置。較佳的，所述架體上固定設(shè)置有若干固定孔，所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應(yīng)所述固定孔上固定設(shè)置；所述第二架體上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽，對(duì)應(yīng)所述調(diào)節(jié)槽還設(shè)置有固定板423，所述固定板423的兩端分別設(shè)置在對(duì)應(yīng)兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上，并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動(dòng)，從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。

    所述控制器用于控制減薄處理過(guò)程，具體的，在所述玻璃加工治具4從所述沖洗區(qū)2移動(dòng)至所述腔室31內(nèi)合適位置時(shí)打開(kāi)所述噴淋組件33進(jìn)行減薄處理操作，并在由所述主厚度測(cè)量?jī)x32測(cè)得的玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí)關(guān)閉所述噴淋組件33停止對(duì)玻璃進(jìn)行的減薄處理，以及在減薄完成后控制所述玻璃加工治具4再次向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。所述控制器在噴淋減薄過(guò)程中控制所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)移動(dòng)。一般的，所述噴淋組件33包括設(shè)置于所述腔室31頂部的噴淋頭、設(shè)置于所述腔室31底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過(guò)所述噴淋頭對(duì)所述玻璃加工治具4上的玻璃噴淋?chē)娏芤簭亩鴮?shí)現(xiàn)玻璃的減薄處理，所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室31內(nèi)排出。在經(jīng)歷過(guò)減薄處理的玻璃從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載之后，將容納玻璃的下一個(gè)玻璃加工治具4通過(guò)所述轉(zhuǎn)換區(qū)1加載到所述腔室31中并且如上所述經(jīng)歷減薄處理。通過(guò)以上操作，玻璃順序地經(jīng)歷減薄處理。值得指出的是，通過(guò)所述主厚度測(cè)量?jī)x32測(cè)量在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷過(guò)減薄處理的所述玻璃厚度達(dá)到指定尺寸后再通過(guò)所述傳輸組件將玻璃卸載到所述腔室31外部。具體地。選擇減薄用清洗劑，為您的加工過(guò)程保駕護(hù)航。

    故所述控制器在從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍時(shí)，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3，并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理，以將玻璃處理為目標(biāo)厚度。同時(shí)通過(guò)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x提前測(cè)量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測(cè)量?jī)x32檢測(cè)的初始厚度作對(duì)比，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否失靈，從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的檢測(cè)數(shù)據(jù)判斷是否需再次進(jìn)入所述腔室31。具體的，當(dāng)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x檢測(cè)厚度與所述主厚度測(cè)量?jī)x32檢測(cè)的初始檢測(cè)厚度不在公差范圍之內(nèi)，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈；在當(dāng)后期減薄后所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的檢測(cè)厚度不符合目標(biāo)厚度時(shí)，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32非暫時(shí)失靈，所述控制器警報(bào)提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi)，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出，并等待所述主厚度測(cè)量?jī)x32的維修完成。實(shí)施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi)，經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區(qū)3中進(jìn)行減薄處理期間。減薄清洗劑，良好品質(zhì)，值得信賴(lài)，讓您的加工更輕松。臺(tái)州中芯國(guó)際用減薄用清洗劑聯(lián)系方式

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    將待加工部件固定在托盤(pán)上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤(pán)上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤(pán)表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤(pán)光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤(pán)光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。s102：通過(guò)噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來(lái)對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光；s103：通過(guò)磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來(lái)對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中，s102和s103可以交替進(jìn)行，也就是說(shuō)，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間后，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)，并控制噴頭噴涂拋光液，停止噴涂拋光液后，再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，以此類(lèi)推。本發(fā)明實(shí)施例中，通過(guò)磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作，實(shí)現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個(gè)過(guò)程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無(wú)粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。由于減薄過(guò)程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。杭州清洗效果好的減薄用清洗劑生產(chǎn)