故所述控制器在從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍時(shí),可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3,并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理,以將玻璃處理為目標(biāo)厚度。同時(shí)通過所述輔助厚度測(cè)量?jī)x提前測(cè)量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度,可與所述主厚度測(cè)量?jī)x32檢測(cè)的初始厚度作對(duì)比,可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否失靈,從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的檢測(cè)數(shù)據(jù)判斷是否需再次進(jìn)入所述腔室31。具體的,當(dāng)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x檢測(cè)厚度與所述主厚度測(cè)量?jī)x32檢測(cè)的初始檢測(cè)厚度不在公差范圍之內(nèi),可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈;在當(dāng)后期減薄后所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的檢測(cè)厚度不符合目標(biāo)厚度時(shí),可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32非暫時(shí)失靈,所述控制器警報(bào)提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi),而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出,并等待所述主厚度測(cè)量?jī)x32的維修完成。實(shí)施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為:s1,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi),經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理;具體的,在所述蝕刻區(qū)3中進(jìn)行減薄處理期間。高效去除涂層,減薄用清洗劑讓您的生產(chǎn)更順暢。臺(tái)州哪里減薄用清洗劑替代
潔普士?zepoos致力于開發(fā)高效、環(huán)保的清洗劑產(chǎn)品,是幕阜科技公司旗下的清洗劑品牌。是全球的工業(yè)清洗劑產(chǎn)品生產(chǎn)商和服務(wù)商,公司通過zepoos?(潔普士)品牌提供了230多種清洗劑產(chǎn)品和清洗工藝解決方案。從推出工業(yè)清洗劑產(chǎn)品銷售以來,“潔普士”產(chǎn)品在全世界所開展的清洗劑產(chǎn)品的研究和生產(chǎn)業(yè)務(wù)中取得了巨大的成功。為了更進(jìn)一步服務(wù)好廣大的客戶,“潔普士清洗劑”在中國(guó)江蘇、浙江和上海建立了生產(chǎn)基地和銷售網(wǎng)絡(luò),以較低的成本向客戶提供的產(chǎn)品和高效率的服務(wù)?!皾嵠帐俊鼻逑串a(chǎn)品目前有:環(huán)保電子清洗劑、松香清洗劑、噴淋超聲波清洗劑,松香錫膏助焊劑清潔劑、強(qiáng)油污清洗劑、錫膏清洗劑、助焊劑清洗劑、回流焊清洗劑、波峰焊清洗劑、鋼網(wǎng)清洗劑、絲網(wǎng)印刷清洗劑、電子清洗劑、表面活性清洗劑、爐膛清洗劑、硅片清洗劑、夾具清洗劑、貼片元器件清洗劑、LED清洗劑、精密儀器清洗劑、水基清洗劑、半水基清洗劑、溶劑清洗劑、電子儀器清洗劑、電氣設(shè)備清洗劑、IC清洗劑、多功能水基清洗、電容電阻清洗劑、二極管清洗劑、大功率封裝器件清洗劑、植球BGA清洗劑、誤印鋼網(wǎng)/絲網(wǎng)清洗劑、半導(dǎo)體清洗劑機(jī)械零件清洗劑、電子元器件清洗劑、環(huán)保溶劑清洗劑、環(huán)保水基清洗。蕪湖好用的減薄用清洗劑商家減薄清洗劑,良好品質(zhì),值得信賴,讓您的加工更輕松。
本發(fā)明涉及玻璃減薄技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種玻璃減薄設(shè)備。背景技術(shù):隨著便攜式電子器件的發(fā)展,手機(jī)、平板等便攜式電子器件越來越纖細(xì)化及薄型化,因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設(shè)備的反應(yīng)槽中,然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時(shí)間,使玻璃減薄液與玻璃反應(yīng),實(shí)現(xiàn)玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中,反應(yīng)產(chǎn)物會(huì)懸浮于玻璃減薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,這種方法容易造成蝕刻不均,導(dǎo)致進(jìn)行減薄后還需要進(jìn)行拋光處理,提高了制備成本。鑒于上述缺陷,本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間的研究和實(shí)踐終于獲得了本發(fā)明。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:為解決上述技術(shù)缺陷,本發(fā)明采用的技術(shù)方案在于,提供一種玻璃減薄設(shè)備,包括蝕刻區(qū),用于對(duì)豎直容納在玻璃加工治具中的多個(gè)玻璃進(jìn)行減薄處理;沖洗區(qū),用于所述玻璃加工治具上的玻璃進(jìn)行減薄前清潔和減薄后清潔;轉(zhuǎn)換區(qū),用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區(qū)中,并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區(qū)卸載到外部;制動(dòng)組件。
所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動(dòng),所述主厚度測(cè)量?jī)x32測(cè)量玻璃厚度并且將關(guān)于測(cè)得厚度的信息實(shí)時(shí)發(fā)送到所述控制器;當(dāng)測(cè)得玻璃厚度達(dá)到預(yù)設(shè)目標(biāo)厚度時(shí),所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。一般的,在所述腔室31內(nèi),減薄處理的具體工藝參數(shù)為:所述玻璃加工治具4的往復(fù)運(yùn)動(dòng)中單程單向時(shí)間設(shè)置為~4s,來回往復(fù)一次時(shí)間設(shè)置為3s~8s,往復(fù)移動(dòng)幅度設(shè)置約為180mm左右;所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃~40℃;在上述參數(shù)下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機(jī),所述控制器進(jìn)行次減薄厚度確認(rèn)操作;具體的,通過設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測(cè)量?jī)x,進(jìn)行檢測(cè)厚度比較,從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作,當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí),所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進(jìn)行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動(dòng)至所述第三沖洗區(qū)2進(jìn)行減薄后終清洗。減薄用清洗劑的人概費(fèi)用是多少?
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質(zhì)量好的減薄用清洗劑的找誰好?臺(tái)州哪里減薄用清洗劑替代
將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合,鍵合時(shí)間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光;s103:通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,來對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。可選地,本發(fā)明實(shí)施例中,s102和s103可以交替進(jìn)行,也就是說,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間后,控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn),并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中,通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作,實(shí)現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個(gè)過程穩(wěn)定,速度快,控制性好,重復(fù)度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達(dá)到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。臺(tái)州哪里減薄用清洗劑替代