即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有一排所述固定板423，從而形成對(duì)應(yīng)設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部?jī)?nèi)放置有一排玻璃，可實(shí)現(xiàn)所述放置部結(jié)構(gòu)的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設(shè)置若干所述放置部以使各所述放置部對(duì)應(yīng)不同尺寸的玻璃。圖4為所述調(diào)節(jié)槽的另一種實(shí)施方式，所述調(diào)節(jié)槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424可設(shè)置兩個(gè)所述固定卡塊427，即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對(duì)應(yīng)兩所述豎直平板421，使在同一所述放置部?jī)?nèi)分割處兩個(gè)放置空間，從而在各所述放置部?jī)?nèi)可放置兩排玻璃，便于節(jié)省所述玻璃加工治具4上的有限空間，可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設(shè)置于同一所述放置部?jī)?nèi)。較佳的，兩相鄰所述水平槽424之間還設(shè)置有至少兩個(gè)定位槽428，所述固定板423兩端設(shè)置有定位孔429，當(dāng)所述固定卡塊427設(shè)置于所述固定槽426內(nèi)時(shí)，所述定位槽428和所述定位孔429位置對(duì)應(yīng)；通過(guò)將螺釘穿過(guò)所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中，保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內(nèi)。去除多余涂層，選擇減薄用清洗劑，效果好。安徽好用的減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨

    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤(pán)和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12，當(dāng)然，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等，托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中，托盤(pán)10，可選為石英托盤(pán)，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。池州半導(dǎo)體減薄用清洗劑溶劑輕松去除過(guò)厚涂層，減薄用清洗劑是您理想的選擇。

    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時(shí)去除噴淋液，從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測(cè)量數(shù)據(jù)。一般的，所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值，所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測(cè)量?jī)x，所述輔助厚度測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測(cè)量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度，所述輔助厚度測(cè)量?jī)x將測(cè)得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的設(shè)置可降低所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測(cè)量玻璃厚度時(shí)異常操作而造成的玻璃減薄缺陷，所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動(dòng)。所述控制器基于所述輔助厚度測(cè)量?jī)x測(cè)得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否正確工作。一般的，從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍，則所述控制器確定所述主厚度測(cè)量?jī)x32無(wú)法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒(méi)有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下，所述控制器發(fā)出警報(bào)來(lái)通知管理者，所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異?？赡苁菚簳r(shí)的。

    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時(shí)，值得指出的時(shí)，所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具體的，所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽，所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽，對(duì)應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板，所述安裝板對(duì)應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個(gè)所述固定塊，所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，通過(guò)將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過(guò)所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定，同時(shí)，通過(guò)所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置，可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié)，從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃，并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時(shí)放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理。實(shí)施例五一般的，對(duì)于實(shí)施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu)，可通過(guò)調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示，圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。減薄用清洗劑，專(zhuān)為去除多余涂層設(shè)計(jì)，不留痕跡。。

    且所述限位塊438和所述第二限位塊439均可在所述限位孔437內(nèi)移動(dòng)，通過(guò)所述連接部433的限位效果，避免所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力作用下產(chǎn)生脫離，從而使所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力和所述連接部433的限位力作用下保持平衡。一般的，所述位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置為圓柱型，從而便于所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述限位孔437內(nèi)的移動(dòng)。當(dāng)放置于所述底支撐件43上的玻璃受到?jīng)_擊或振動(dòng)時(shí)，所述支撐條431可相對(duì)于所述第二支撐條432作水平方向的偏移移動(dòng)，或所述限位塊438和所述第二限位塊439均在所述限位孔437內(nèi)移動(dòng)，使所述支撐條431可相對(duì)于所述第二支撐條432作豎直方向的移動(dòng)，從而可實(shí)現(xiàn)對(duì)各個(gè)方向上沖擊力或振動(dòng)的吸收緩沖效果，提高玻璃的安全性。較佳的，所述限位塊438和所述第二限位塊439可設(shè)置為螺釘，所述限位孔437寬度配合所述螺釘?shù)穆菁y直徑設(shè)置，在所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置螺紋孔，通過(guò)將所述限位塊438和所述第二限位塊439與所述螺紋孔螺紋連接，從而實(shí)現(xiàn)所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述支撐條431和所述第二支撐條432上的固定。通過(guò)將所述限位塊438和所述第二限位塊439設(shè)置為螺釘。哪里可以買(mǎi)到玻璃清洗劑；紹興哪家減薄用清洗劑供應(yīng)商

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    來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，還包括：在所述磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后，更換所述磁轉(zhuǎn)子。可選地，將待加工部件固定在托盤(pán)上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤(pán)上。可選地，對(duì)所述待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后，還包括：對(duì)所述待加工部件進(jìn)行清洗；采用特定溶液對(duì)所述光刻膠進(jìn)行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤(pán)分離。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤(pán)固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光，采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄，由于減薄過(guò)程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。安徽好用的減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨