磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過(guò)程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中通過(guò)光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤(pán)10。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，在其他實(shí)施例中，待加工部件20和托盤(pán)10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定。基于此，如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設(shè)置在托盤(pán)10底部，用于對(duì)托盤(pán)10進(jìn)行加熱，以使待加工部件20與托盤(pán)10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤(pán)10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤(pán)10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤(pán)10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。本發(fā)明實(shí)施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來(lái)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說(shuō)明的是。輕松去除過(guò)厚涂層，減薄用清洗劑是您理想的選擇。杭州半導(dǎo)體減薄用清洗劑溶劑

    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時(shí)去除噴淋液，從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測(cè)量數(shù)據(jù)。一般的，所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值，所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測(cè)量?jī)x，所述輔助厚度測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測(cè)量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度，所述輔助厚度測(cè)量?jī)x將測(cè)得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的設(shè)置可降低所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測(cè)量玻璃厚度時(shí)異常操作而造成的玻璃減薄缺陷，所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動(dòng)。所述控制器基于所述輔助厚度測(cè)量?jī)x測(cè)得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否正確工作。一般的，從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍，則所述控制器確定所述主厚度測(cè)量?jī)x32無(wú)法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒(méi)有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下，所述控制器發(fā)出警報(bào)來(lái)通知管理者，所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常可能是暫時(shí)的。南京國(guó)產(chǎn)減薄用清洗劑供應(yīng)商減薄清洗劑，采用科技，為您帶來(lái)好的清潔效果。

    降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。由于本發(fā)明實(shí)施例中采用光刻膠對(duì)托盤(pán)和待加工部件進(jìn)行了固定，因此，對(duì)待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后，還包括：對(duì)待加工部件進(jìn)行清洗；采用特定溶液對(duì)光刻膠進(jìn)行腐蝕，以將待加工部件與托盤(pán)分離。具體地，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對(duì)待加工部件20進(jìn)行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮?dú)獯蹈?。之后，將清洗后的待加工部?0和托盤(pán)10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤(pán)10自動(dòng)分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例提供的方法，還包括：在磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后，更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時(shí)后，可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)于實(shí)施例公開(kāi)的裝置而言，由于其與實(shí)施例公開(kāi)的方法相對(duì)應(yīng)，所以描述的比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見(jiàn)方法部分說(shuō)明即可。對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明。

    本發(fā)明涉及玻璃減薄技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種玻璃減薄設(shè)備。背景技術(shù)：隨著便攜式電子器件的發(fā)展，手機(jī)、平板等便攜式電子器件越來(lái)越纖細(xì)化及薄型化，因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板，目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設(shè)備的反應(yīng)槽中，然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時(shí)間，使玻璃減薄液與玻璃反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中，反應(yīng)產(chǎn)物會(huì)懸浮于玻璃減薄液中，然后再粘附在玻璃上，造成不良品；并且，這種方法容易造成蝕刻不均，導(dǎo)致進(jìn)行減薄后還需要進(jìn)行拋光處理，提高了制備成本。鑒于上述缺陷，本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的研究和實(shí)踐終于獲得了本發(fā)明。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：為解決上述技術(shù)缺陷，本發(fā)明采用的技術(shù)方案在于，提供一種玻璃減薄設(shè)備，包括蝕刻區(qū)，用于對(duì)豎直容納在玻璃加工治具中的多個(gè)玻璃進(jìn)行減薄處理；沖洗區(qū)，用于所述玻璃加工治具上的玻璃進(jìn)行減薄前清潔和減薄后清潔；轉(zhuǎn)換區(qū)，用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區(qū)中，并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區(qū)卸載到外部；制動(dòng)組件。去除多余涂層，選擇減薄用清洗劑，效果好。

    通過(guò)旋緊螺釘使螺釘?shù)亩祟^部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述連接部433的固定，避免所述連接部433在振動(dòng)時(shí)發(fā)生脫離等情況。同時(shí)螺釘?shù)脑O(shè)置，可實(shí)現(xiàn)所述底支撐件43結(jié)構(gòu)的快速裝卸，便于維修更換。值得指出的是，為達(dá)到防止所述連接部433脫離的效果，所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設(shè)置為螺釘，通過(guò)在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設(shè)置橫截面合適的部件，使所述限位塊438、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接，即可實(shí)現(xiàn)螺釘?shù)男ЧＫ鼋佑|部434設(shè)置有弧形槽，玻璃的下邊緣設(shè)置于所述弧形槽內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)所述底支撐件43對(duì)玻璃的位置固定。在進(jìn)行減薄或其他加工過(guò)程中，玻璃通過(guò)所述玻璃加工治具4進(jìn)行移動(dòng)或放置時(shí)，均會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)；同時(shí)在進(jìn)行蝕刻沖刷時(shí)，在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定，易使玻璃產(chǎn)生彎曲，通過(guò)所述底支撐件43的結(jié)構(gòu)設(shè)置，可實(shí)現(xiàn)設(shè)置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐，有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力，避免振動(dòng)或沖擊對(duì)玻璃帶來(lái)的損傷；同時(shí)可有效降低所述玻璃加工治具4往復(fù)移動(dòng)帶來(lái)的振動(dòng)，使玻璃底部在所述連接部433的限制下進(jìn)行小幅度的移動(dòng)，在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動(dòng)。減薄用清洗劑的類(lèi)別一般有哪些？南通性價(jià)比高的減薄用清洗劑溶劑

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    實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時(shí)，控制玻璃的擺動(dòng)幅度，提高玻璃在減薄過(guò)程中的安全性。實(shí)施例六所述主厚度測(cè)量?jī)x32與所述蝕刻區(qū)3的內(nèi)壁相鄰，并且具有滑動(dòng)結(jié)構(gòu)以移動(dòng)到豎直容納在所述玻璃加工治具4內(nèi)的玻璃之中的靠外玻璃附近，從而便于對(duì)玻璃厚度進(jìn)行檢測(cè)；具體的，在所述控制器的控制下，所述主厚度測(cè)量?jī)x32通過(guò)向玻璃發(fā)射激光束來(lái)實(shí)時(shí)測(cè)量玻璃厚度并且在玻璃正經(jīng)歷滑動(dòng)處理的同時(shí)將關(guān)于測(cè)得厚度的信息發(fā)送到所述控制器；所述控制器實(shí)時(shí)將預(yù)設(shè)的目標(biāo)厚度與從所述主厚度測(cè)量?jī)x32接收的測(cè)得玻璃厚度進(jìn)行比較。如果確定從所述主厚度測(cè)量?jī)x32接收的測(cè)得玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度，則所述控制器停止減薄處理等操作，并且將所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。較佳的，所述主厚度測(cè)量?jī)x32可包括：發(fā)射器，其用于發(fā)射激光束；接收器，其用于接收被玻璃反射的光束；以及分析器，其用于分析接收器中接收的光束并且計(jì)算玻璃厚度。所述主厚度測(cè)量?jī)x32還可包括空氣噴射器，用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于從發(fā)射器發(fā)射的激光束的那部分。在通過(guò)發(fā)射器發(fā)射激光束之前，所述主厚度測(cè)量?jī)x32控制所述空氣噴射器。杭州半導(dǎo)體減薄用清洗劑溶劑