本發(fā)明涉及玻璃減薄技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種玻璃減薄設(shè)備。背景技術(shù)：隨著便攜式電子器件的發(fā)展，手機(jī)、平板等便攜式電子器件越來(lái)越纖細(xì)化及薄型化，因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板，目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設(shè)備的反應(yīng)槽中，然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時(shí)間，使玻璃減薄液與玻璃反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中，反應(yīng)產(chǎn)物會(huì)懸浮于玻璃減薄液中，然后再粘附在玻璃上，造成不良品；并且，這種方法容易造成蝕刻不均，導(dǎo)致進(jìn)行減薄后還需要進(jìn)行拋光處理，提高了制備成本。鑒于上述缺陷，本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的研究和實(shí)踐終于獲得了本發(fā)明。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：為解決上述技術(shù)缺陷，本發(fā)明采用的技術(shù)方案在于，提供一種玻璃減薄設(shè)備，包括蝕刻區(qū)，用于對(duì)豎直容納在玻璃加工治具中的多個(gè)玻璃進(jìn)行減薄處理；沖洗區(qū)，用于所述玻璃加工治具上的玻璃進(jìn)行減薄前清潔和減薄后清潔；轉(zhuǎn)換區(qū)，用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區(qū)中，并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區(qū)卸載到外部；制動(dòng)組件。減薄清洗劑采用獨(dú)特配方，提高工作效率。深圳好用的減薄用清洗劑費(fèi)用

    若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上；所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個(gè)固定卡塊427，所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu)，便于所述固定板423端面的朝向定位；對(duì)應(yīng)的，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426，當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時(shí)，設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對(duì)應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44，且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述盛放部?jī)?nèi)玻璃的支撐限位。其中，如圖3所示，所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實(shí)施方式為，所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣，所述固定槽426對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽，從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置，使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424多只設(shè)置一個(gè)所述固定卡塊427。寧波減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨減薄用清洗劑的類(lèi)別一般有哪些？

    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動(dòng)，所述主厚度測(cè)量?jī)x32測(cè)量玻璃厚度并且將關(guān)于測(cè)得厚度的信息實(shí)時(shí)發(fā)送到所述控制器；當(dāng)測(cè)得玻璃厚度達(dá)到預(yù)設(shè)目標(biāo)厚度時(shí)，所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理，并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。一般的，在所述腔室31內(nèi)，減薄處理的具體工藝參數(shù)為：所述玻璃加工治具4的往復(fù)運(yùn)動(dòng)中單程單向時(shí)間設(shè)置為～4s，來(lái)回往復(fù)一次時(shí)間設(shè)置為3s～8s，往復(fù)移動(dòng)幅度設(shè)置約為180mm左右；所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm～2400lpm，在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃～40℃；在上述參數(shù)下，玻璃的酸蝕速率一般在μm/min～μm/min，可有效實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃的整體減薄處理。s2，完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機(jī)，所述控制器進(jìn)行次減薄厚度確認(rèn)操作；具體的，通過(guò)設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測(cè)量?jī)x，進(jìn)行檢測(cè)厚度比較，從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作，當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí)，所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進(jìn)行再次減薄處理。s3，所述玻璃加工治具4移動(dòng)至所述第三沖洗區(qū)2進(jìn)行減薄后終清洗。

    本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤(pán)，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光；磁轉(zhuǎn)子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作，以對(duì)所述待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄?？蛇x地，所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層，以通過(guò)所述研磨層對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。可選地，所述研磨層為金屬氧化物層，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地，還包括：熱板，設(shè)置于所述托盤(pán)底部，用于對(duì)所述托盤(pán)進(jìn)行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤(pán)鍵合固定?？蛇x地，所述待加工部件與所述托盤(pán)通過(guò)光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤(pán)上，所述待加工部件包括inp基晶圓；通過(guò)噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光；通過(guò)磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。減薄清洗劑，專(zhuān)業(yè)解決涂層過(guò)厚難題，提高產(chǎn)品良率。

    且所述限位塊438和所述第二限位塊439均可在所述限位孔437內(nèi)移動(dòng)，通過(guò)所述連接部433的限位效果，避免所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力作用下產(chǎn)生脫離，從而使所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力和所述連接部433的限位力作用下保持平衡。一般的，所述位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置為圓柱型，從而便于所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述限位孔437內(nèi)的移動(dòng)。當(dāng)放置于所述底支撐件43上的玻璃受到?jīng)_擊或振動(dòng)時(shí)，所述支撐條431可相對(duì)于所述第二支撐條432作水平方向的偏移移動(dòng)，或所述限位塊438和所述第二限位塊439均在所述限位孔437內(nèi)移動(dòng)，使所述支撐條431可相對(duì)于所述第二支撐條432作豎直方向的移動(dòng)，從而可實(shí)現(xiàn)對(duì)各個(gè)方向上沖擊力或振動(dòng)的吸收緩沖效果，提高玻璃的安全性。較佳的，所述限位塊438和所述第二限位塊439可設(shè)置為螺釘，所述限位孔437寬度配合所述螺釘?shù)穆菁y直徑設(shè)置，在所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置螺紋孔，通過(guò)將所述限位塊438和所述第二限位塊439與所述螺紋孔螺紋連接，從而實(shí)現(xiàn)所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述支撐條431和所述第二支撐條432上的固定。通過(guò)將所述限位塊438和所述第二限位塊439設(shè)置為螺釘。減薄清洗劑，讓您的產(chǎn)品更加精致，提升市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。合肥半導(dǎo)體減薄用清洗劑批量定制

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    故所述控制器在從所述輔助厚度測(cè)量?jī)x接收的玻璃厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍時(shí)，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3，并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理，以將玻璃處理為目標(biāo)厚度。同時(shí)通過(guò)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x提前測(cè)量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測(cè)量?jī)x32檢測(cè)的初始厚度作對(duì)比，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32是否失靈，從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的檢測(cè)數(shù)據(jù)判斷是否需再次進(jìn)入所述腔室31。具體的，當(dāng)所述輔助厚度測(cè)量?jī)x檢測(cè)厚度與所述主厚度測(cè)量?jī)x32檢測(cè)的初始檢測(cè)厚度不在公差范圍之內(nèi)，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32失靈；在當(dāng)后期減薄后所述輔助厚度測(cè)量?jī)x的檢測(cè)厚度不符合目標(biāo)厚度時(shí)，可判斷所述主厚度測(cè)量?jī)x32非暫時(shí)失靈，所述控制器警報(bào)提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi)，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出，并等待所述主厚度測(cè)量?jī)x32的維修完成。實(shí)施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi)，經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區(qū)3中進(jìn)行減薄處理期間。深圳好用的減薄用清洗劑費(fèi)用