所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時實時測量玻璃的厚度，并且將關于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器。所述控制器實時確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達到目標厚度。如果確定玻璃厚度達到目標厚度，則所述控制器停止對玻璃進行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區(qū)2內(nèi)。實施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復運動，進而通過所述玻璃加工治具4的自身結構實現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動，從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸，提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結構正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結構正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結構俯視圖；具體的，所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42，所述支撐架42固定設置在所述底座41上；所述底座41上設置有底支撐件43，所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸，在玻璃底部提供支撐效果；所述支撐架42上設置有側支撐件44，所述側支撐件44限制玻璃側部邊緣位置。減薄清洗劑，采用科技，為您帶來好的清潔效果。江蘇國產(chǎn)減薄用清洗劑供應商

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    本發(fā)明涉及半導體制造技術領域，更具體地說，涉及一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法。背景技術：采用iii-v族化合物制作的半導體器件和超高速數(shù)字/數(shù)模混合電路等憑借其優(yōu)良的頻率特性，已經(jīng)成為通訊、雷達、制導、空間防御、高速智能化武器及電子對抗等現(xiàn)代化裝備的部件之一。在眾多的iii-v族化合物中，inp(磷化銦)化合物具有獨特的優(yōu)勢，這主要得益于其優(yōu)良的材料特性，例如，inp和ingaas(銦鎵砷)之間的晶格失配很小，以及電子飽和速率很高等，所以不論是hemt(highelectronmobilitytransistor，高電子遷移率晶體管)結構還是hbt(heterojunctionbipolartransistor，異質(zhì)結雙極晶體管)結構，都具有非常優(yōu)異的高頻、大功率性能。但是，inp材料的物理性能卻很差，非常易碎，很小的碰撞或振動都會導致晶圓碎裂而前功盡棄，因此，inp材料的制造加工面臨著很多工藝上的難題。尤其是在超高頻率、大功率的inp基rfic(射頻集成電路)的制造工藝中，如何在對inp基晶圓進行減薄拋光時，減小或避免inp基晶圓的損傷是本領域技術人員亟待解決的問題之一。技術實現(xiàn)要素：有鑒于此，本發(fā)明提供了一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法，以減小或避免inp基晶圓的減薄拋光損傷。為實現(xiàn)上述目的。

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