注入量精確調(diào)配裝置通過嵌入引流口2接入鹽酸裝罐7進行原料注入,工作人員通過負壓引流器21將鹽酸硝酸引向注入量控制容器18內(nèi),通過觀察注入量控制容器18內(nèi)的注入量觀察刻度線19對注入量進行精確控制,當?shù)竭_設(shè)定的注入量時將限流銷20插入進行限流即可,很好的對注入量進行精確控制,提高了該裝置的制備純度。工作原理:首先,通過設(shè)置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內(nèi),從而很好的減小了發(fā)生反應(yīng)的劇烈程度,很好的起到了保護作用。然后,通過設(shè)置加固支架10,加固支架10為連接在兩側(cè)底座支柱的三角結(jié)構(gòu),利用三角結(jié)構(gòu)穩(wěn)定原理對裝置底座5起到了很好的加固效果。接著,通過設(shè)置防燙隔膜11,防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料,能夠很好的防止工作人員被燙傷,很好的體現(xiàn)了該裝置的防燙性。緊接著,通過設(shè)置高效攪拌裝置2,該裝置通過運轉(zhuǎn)電機組13驅(qū)動旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12,使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12帶動高效攪拌裝置2進行旋轉(zhuǎn)搖勻,同時設(shè)置的震蕩彈簧件14可通過驅(qū)動對高效攪拌裝置2進行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內(nèi)部的蝕刻液通過內(nèi)置的致密防腐桿16,致密防腐桿16內(nèi)部的攪動孔17能夠使蝕刻液不斷細化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉。蝕刻液公司的聯(lián)系方式。蘇州哪家蝕刻液蝕刻液主要作用
使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內(nèi)部形成一個密閉的空間,避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進入儲罐內(nèi),有效的提高了裝置使用的密封性;緊接著,將磷酸與醋酸在個攪拌倉23中充分攪拌混合均勻,然后在第二個攪拌倉23中與硝酸充分攪拌混合均勻后,再進入配料罐中混合,將陰離子表面活性劑和聚氧乙烯型非離子表面活性劑在第三個攪拌倉23混合后再進入第四個攪拌倉23中,與氯化鉀、硝酸鉀、去離子水一起在第四個攪拌倉23中混合均勻,然后過濾后封裝,先檢查過濾板26進行更換或安裝,過濾部件9的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進行過濾,使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過濾板26過濾出,得到不含雜質(zhì)的蝕刻液,避免多種強酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患;,通過過濾部件9將蝕刻液進行過濾,過濾部件9設(shè)置有一個,過濾部件9設(shè)置在連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè),過濾部件9與連接構(gòu)件11固定連接,過濾部件9能將制備出的蝕刻液進行過濾,且過濾部件9能將內(nèi)部的過濾板26進行拆卸更換,將過濾部件9的內(nèi)部進行清洗,在將過濾部件9進行連接安裝時,將滑動蓋24向外側(cè)滑動。綿陽格林達蝕刻液產(chǎn)品介紹天馬微電子用哪家蝕刻液更多?
本發(fā)明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術(shù):以往,在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液,該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過氧化氫、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所構(gòu)成的水溶液將pH值調(diào)整為7至9。但是,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題,含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問題?,F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1:日本特許第4471094號說明書。技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明是鑒于所述實際情況而成,其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法,所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,而且毒性低,保存穩(wěn)定性優(yōu)異。解決問題的技術(shù)手段本發(fā)明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用,并且含有:選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸;以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。
如前文所述,必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復(fù)數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示)。再者,請再參閱圖10至圖12所示,為本實用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖、其三較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔與斜錐孔混合的態(tài)樣(如圖10所示),或是全部為斜錐孔的態(tài)樣(如圖11所示),其中該宣泄孔121具有一***壁面1211與一第二壁面1212,且該第二擋板12具有一下表面122,當該宣泄孔121為斜錐孔的態(tài)樣時,該***壁面1211與該下表面122的***夾角θ1不同于該第二壁面1212與該下表面122的第二夾角θ2,亦即該***壁面1211與該第二壁面1212可不互相平行,但應(yīng)避免該***夾角θ1與該第二夾角θ2差距過大而造成毛細現(xiàn)象破除;此外,當該宣泄孔121為斜錐孔態(tài)樣時。哪家公司的蝕刻液是比較劃算的?
在上述硅烷系偶聯(lián)劑的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下,能夠調(diào)節(jié)添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導(dǎo)體工序的去離子水,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發(fā)明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發(fā)明的組合物總重量的2~45重量%來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發(fā)明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。上述蝕刻液組合物中說明的、對于添加劑選擇等的一切內(nèi)容均可以同樣地應(yīng)用于本發(fā)明的選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。具體而言,提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法、由此選擇的硅烷系偶聯(lián)劑以及包含該硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻方法。如何挑選一款適合公司的蝕刻液?蘇州天馬用的蝕刻液蝕刻液銷售價格
蘇州性價比較好的蝕刻液的公司聯(lián)系電話。蘇州哪家蝕刻液蝕刻液主要作用
本實用涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置。背景技術(shù):近年來,人們對半導(dǎo)體裝置、液晶顯示器的需求量不斷增加的同時,對于這些裝置所具有的配線、電極等的微小化、高性能化的要求也越來越嚴格,而蝕刻的效果能直接導(dǎo)致電路板制造工藝的好壞,影響高密度細導(dǎo)線圖像的精度和質(zhì)量,為了解決蝕刻液組合物蝕刻鋁材料過程中,對蝕刻速率慢、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的多層配線的半導(dǎo)體裝置的配線的斷路、短路,得到較高的成品率,為保證其穩(wěn)定性及蝕刻的平滑度及精度,在蝕刻液中需要加入多種組分,而常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合?,F(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置密封性差,連接安裝步驟繁瑣,還需要使用工具才能進行連接安裝或拆卸,而且現(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置沒有過濾的部件,蝕刻液中的各組份蝕刻液雜質(zhì)含量多,且多種強酸直接共混存在較大的安全隱患,裝置不夠完善,難以滿足現(xiàn)代社會的需求。所以,如何設(shè)計高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,成為我們當前需要解決的問題。蘇州哪家蝕刻液蝕刻液主要作用