所述液位計(jì)連接有液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分離器的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)視鏡。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述液位計(jì)安裝于所述分離器的外表面。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述液位開關(guān)為控制閥,設(shè)置于所述濾液出口處。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述加熱器為盤管式加熱器。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分離器底部為錐體形狀。上述,利用加熱器對(duì)含銅蝕刻液進(jìn)行加熱,使其達(dá)到閃蒸要求的溫度,將加熱好的含銅蝕刻液輸送至分離器,經(jīng)過減壓閥及真空泵減壓,含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸,產(chǎn)生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,通過除霧組件和除沫組件可以防止大液滴從蒸汽出口飛出,減小產(chǎn)品損失。附圖說明圖1是本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)施例的外觀示意圖。圖中:1、液體入口;2、濾液出口;3、除霧組件;4、除沫組件;5、蒸汽出口;6、液相氣相溫度傳感器;7、液位計(jì);8、壓力傳感器;9、液位開關(guān);10、視鏡;11、加熱器;12、減壓閥;13、真空泵。具體實(shí)施方式在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器11,所述分離器設(shè)有液體入口1、蒸汽出口5及濾液出口2,所述液體入口1用于將加熱器11產(chǎn)生的液體輸入至分離器中。如何挑選一款適合自己公司的蝕刻液?廣州蝕刻液銷售公司
影響ITO堿性氯化銅蝕刻液蝕刻速率的因素:1、Cu2+離子濃度的影響:Cu2+是氧化劑,所以Cu2+的濃度是影響蝕刻速率的主要因素。研究銅濃度與蝕刻速率的關(guān)系表明:在0~82g/L時(shí),蝕刻時(shí)間長;在82~120g/L時(shí),蝕刻速率較低,且溶液控制困難;在135~165g/L時(shí),蝕刻速率高且溶液穩(wěn)定;在165~225g/L時(shí),溶液不穩(wěn)定,趨向于產(chǎn)生沉淀。2、氯化銨含量的影響:通過蝕刻再生的化學(xué)反應(yīng)可以看出:[Cu(NH3)2]+的再生需要有過量的NH3和NH4Cl存在,如果溶液中缺乏NH4Cl,大量的[Cu(NH3)2]+得不到再生,蝕刻速率就會(huì)降低,以致失去蝕刻能力。所以,氯化銨的含量對(duì)蝕刻速率影響很大。隨著蝕刻的進(jìn)行,要不斷補(bǔ)加氯化銨。安徽江化微的蝕刻液蝕刻液推薦廠家天馬微電子用的哪家的蝕刻液?
提高反應(yīng)體系的穩(wěn)定性。當(dāng)體系中加入過氧化氫后有助于提高過氧化氫的穩(wěn)定性,避免由于過氧化氫分解而引發(fā)的,提高生產(chǎn)的安全性。具體實(shí)施方式下面結(jié)合實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案,而不能以此來限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進(jìn)行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;純水罐中設(shè)有通過電路控制的電磁閥,當(dāng)純水溫度高于10℃時(shí),電磁閥無法打開。第二步:配制和準(zhǔn)備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對(duì)應(yīng)的原料罐中,經(jīng)過過濾器循環(huán)過濾,備用;將hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2分別投入對(duì)應(yīng)的原料罐,備用。亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸需要稀釋后使用,hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2無需調(diào)配可直接用于制備蝕刻液。第三步:根據(jù)混酸配制表算出各個(gè)原料的添加量,按照純水→亞氨基二乙酸→氫氟酸→hno3→四甲基氫氧化銨→乙醇酸的順序依次將原料加入調(diào)配罐,將上述混料充分?jǐn)嚢?,攪拌時(shí)間為3~5h。第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,繼續(xù)攪拌混勻,攪拌時(shí)間為3~5h,用磁力泵將混合液通過過濾器循環(huán)過濾。
在上述硅烷系偶聯(lián)劑的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下,能夠調(diào)節(jié)添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導(dǎo)體工序的去離子水,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發(fā)明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發(fā)明的組合物總重量的2~45重量%來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發(fā)明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對(duì)上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。上述蝕刻液組合物中說明的、對(duì)于添加劑選擇等的一切內(nèi)容均可以同樣地應(yīng)用于本發(fā)明的選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。具體而言,提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法、由此選擇的硅烷系偶聯(lián)劑以及包含該硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻方法。如何選擇一家好的做蝕刻液的公司。
所述裝置主體前端表面靠近左上邊角位置設(shè)置有活動(dòng)板,所述分隔板右端放置有蓄水箱,所述蓄水箱上端靠近右側(cè)連接有進(jìn)水管,所述回流管下端連接有抽水管,所述抽水管內(nèi)部上端設(shè)置有三號(hào)電磁閥,所述裝置主體前端表面靠近右側(cè)安裝有控制面板。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述分隔板與承載板相互垂直設(shè)置,所述電解池內(nèi)部底端的傾斜角度設(shè)計(jì)為5°。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述進(jìn)液管的形狀設(shè)計(jì)為l型,且進(jìn)液管貫穿分隔板設(shè)置在進(jìn)液漏斗與伸縮管之間。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述圓環(huán)塊通過伸縮桿活動(dòng)安裝在噴頭上方,且噴頭通過伸縮管活動(dòng)安裝在電解池上方。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述回流管與進(jìn)水管的形狀均設(shè)計(jì)為l型,所述傾斜板的傾斜角度設(shè)計(jì)為10°。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述活動(dòng)板前端設(shè)置有握把,活動(dòng)板與裝置主體之間設(shè)置有鉸鏈,且活動(dòng)板通過鉸鏈活動(dòng)安裝在裝置主體前端。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述控制面板的輸出端分別與增壓泵、一號(hào)電磁閥、二號(hào)電磁閥和三號(hào)電磁閥的輸入端呈電性連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:該回收處理裝置通過在增壓泵下端設(shè)置有回流管,能夠在蝕刻液電解后,啟動(dòng)增壓泵并打開一號(hào)電磁閥。ITO蝕刻液的配方是什么?合肥市面上哪家蝕刻液什么價(jià)格
蝕刻液使用時(shí)要注意什么?廣州蝕刻液銷售公司
內(nèi)嵌觀察窗402通過觀察窗翻折滾輪401內(nèi)嵌入裝置內(nèi)部,工作人員可通過內(nèi)嵌的透明窗對(duì)內(nèi)部的制備狀況進(jìn)行實(shí)時(shí)查看,從而很好的體現(xiàn)了該裝置的實(shí)時(shí)性。推薦的,鹽酸裝罐7的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗9,在進(jìn)行制備時(shí)需要向鹽酸裝罐7內(nèi)倒入一定比例的熱水進(jìn)行均勻調(diào)和,由于熱水與鹽酸接觸會(huì)產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng),濺出容易傷害工作人員,通過設(shè)置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內(nèi),從而很好的減小了發(fā)生反應(yīng)的劇烈程度,很好的起到了保護(hù)作用。推薦的,裝置底座5的內(nèi)部兩側(cè)緊密焊接有加固支架10,由于制備裝置為一體化裝置,承載設(shè)備較多,質(zhì)量較重,對(duì)底座會(huì)產(chǎn)生較大的壓力,通過設(shè)置加固支架10,加固支架10為連接在兩側(cè)底座支柱的三角結(jié)構(gòu),利用三角結(jié)構(gòu)穩(wěn)定原理對(duì)裝置底座5起到了很好的加固效果。推薦的,制備裝置主體1的兩端緊密貼合有防燙隔膜11,由于制備裝置在進(jìn)行制備時(shí)會(huì)發(fā)***熱反應(yīng),使得裝置外殼穩(wěn)定較高,工作人員直接接觸有燙傷風(fēng)險(xiǎn),通過設(shè)置防燙隔膜11,防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料,能夠很好的防止工作人員被燙傷,很好的體現(xiàn)了該裝置的防燙性。推薦的,高效攪拌裝置2是由內(nèi)部頂部中間部位的旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12。廣州蝕刻液銷售公司