本發(fā)明涉及蝕刻液組合物及選擇添加于該蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。背景技術:參照圖1,可以確認3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand閃存可以通過在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)來制造。在不損傷氧化物膜的同時將氮化物膜完全去除是這樣的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技術之一。一般而言,氮化物膜去除工序中所使用的蝕刻液組合物利用具有防蝕能力的添加劑以獲得在不損傷氧化物膜的同時*將氮化物膜完全去除的效果。但是,想要在不損傷氧化物膜的范圍內(nèi)將氮化物膜完全去除時,會使用防蝕能力強的添加劑,由此可能發(fā)生氮化物膜沒有被完全去除的工序不良(參照圖2)。此外,想要將氮化物膜完全去除時,會使用防蝕能力弱的添加劑,由此雖然氮化物膜被完全去除,但是可能發(fā)生對氧化物膜也造成損傷(damage)的工序不良(參照圖3)。以往,為了在包含氧化物膜和氮化物膜的多層膜中*將氮化物膜選擇性完全去除而選擇具有適當水平的防蝕能力的添加劑時,按照添加劑的種類和濃度通過實驗進行確認。沒有這樣的實驗確認就選擇添加劑實際上是不可能的。蝕刻液的類別一般有哪些。江化微的蝕刻液蝕刻液聯(lián)系方式
所述裝置主體的內(nèi)部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥,所述連接構件的內(nèi)側固定連接有過濾部件,所述裝置主體的內(nèi)部底端另一側固定連接有收集倉,所述收集倉的另一側底部固定連接有密封閥門,所述過濾部件的頂端兩側活動連接有滑動蓋,所述過濾部件的內(nèi)部中間兩側固定連接有收縮彈簧管,所述連接構件的內(nèi)側兩端嵌入連接有螺紋管,所述連接構件的內(nèi)部中間兩側活動連接有活動軸,所述連接構件的內(nèi)側中間兩側嵌入連接有密封軟膠層。推薦的,所述硝酸鉀儲罐的頂部嵌入連接有密封環(huán)。推薦的,所述連接構件的兩側嵌入連接有海綿層。推薦的,所述支撐腿的底端嵌入連接有防滑紋。推薦的,所述過濾部件的內(nèi)部兩側嵌入連接有過濾板。推薦的,所述過濾部件設置有一個,所述過濾部件設置在連接構件的內(nèi)側,所述過濾部件與連接構件固定連接。推薦的,所述連接構件設置有十四個,所述連接構件設置在攪拌倉的底部,所述連接構件與攪拌倉固定連接。與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的有益效果是:1.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,過濾部件,過濾部件設置在連接構件的內(nèi)側,過濾部件與連接構件固定連接,過濾部件能將制備出的蝕刻液進行過濾。成都天馬用的蝕刻液蝕刻液供應商蝕刻液的的性價比、質量哪家比較好?
本實用新型涉及一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設備。背景技術:鋁蝕刻液生產(chǎn)設備主要包括混合罐、過濾器和儲存罐,將蝕刻液中的各組份在混合罐混合均勻,由過濾器濾去雜質后投入儲存罐中暫存,然后分裝銷售。以往,鋁蝕刻液的分裝由人工操作,隨著自動化技術的興起,全自動灌裝線在鋁蝕刻液生產(chǎn)企業(yè)得到廣泛應用,但是,我司的鋁蝕刻液生產(chǎn)車間面積較小,無法放置自動灌裝線,所以需要對現(xiàn)有的生產(chǎn)設備進行改造,以實現(xiàn)鋁蝕刻液的全自動灌裝。技術實現(xiàn)要素:本實用新型提出了一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設備,以解決上述背景技術中提出的問題。為達前述目的,本實用新型提供的技術方案如下:鋁蝕刻液生產(chǎn)設備,包括混合罐、過濾器、數(shù)個儲存罐、數(shù)輛液壓升降式拖車和地磅,所述混合罐通過液管與所述過濾器連接,所述過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管,每個所述儲存罐固定在對應的拖車頂部,所述儲存罐的進液口和出液口處安裝有單向液動閥,所述地磅位于所述過濾器的下方,所述地磅的頂部設置有將所述拖車固定的氣動夾緊機構。在本技術方案中,載有空儲存罐的拖車置于地磅上方,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中,當?shù)匕跛鶞y得的重量達到系統(tǒng)預設重量時。
該擋液板結構10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,其主要特征在于:該第二擋板12具有復數(shù)個貫穿該第二擋板12且錯位設置的宣泄孔121。該***擋板11與該第二擋板12呈正交設置,且該第二擋板12與該第三擋板13呈正交設置,以使該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13圍設成一凹槽的態(tài)樣,在一實施例中,該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13可以為一體成形,其中該第二擋板12的長度h介于10cm至15cm之間,而該等開設于該第二擋板12上的宣泄孔121可呈千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列的態(tài)樣,且該宣泄孔121可為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合;在本實用新型其一較佳實施例中,開設于該第二擋板12上的宣泄孔121呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離(例如:圖3中所示的w),其中該宣泄孔121的一孔徑a0比較好小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請一并參閱圖4圖5所示。蝕刻液使用時要注意什么?
以及一設置于基板下方的第二風刀,其中***風刀與第二風刀分別吹出一氣體至基板。如上所述的蝕刻設備,其中蝕刻設備可進一步設置有一噴灑裝置,噴灑裝置相對于風刀裝置一端而設置于擋液板結構的另一端部。如上所述的蝕刻設備,其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上。如上所述的蝕刻設備,其中擋液板結構與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間。如上所述的蝕刻設備,其中滾輪呈順時針方向轉動,并帶動基板由噴灑裝置下端部朝向風刀裝置的***風刀下端部的方向移動。如上所述的蝕刻設備,其中氣體遠離***風刀與第二風刀的方向分別與基板的法線方向夾設有一第三夾角。如上所述的蝕刻設備,其中第三夾角介于20度至35度之間。再者,為了達到上述實施目的,本實用新型另研擬一種蝕刻方法,于一濕式蝕刻機的一槽體內(nèi)運行;首先,設置一擋液板結構,其中擋液板結構設置有復數(shù)個宣泄孔;接著,使用一設置于擋液板結構下方的輸送裝置輸送一基板,以經(jīng)過一噴灑裝置進行一藥液噴灑;接續(xù),使用一設置于擋液板結構下方的風刀裝置對基板吹出一氣體,以使基板干燥;***,氣體經(jīng)由宣泄孔宣泄。如上所述的蝕刻方法。哪家的蝕刻液性價比比較高?成都天馬用的蝕刻液蝕刻液供應商
哪家的蝕刻液的價格優(yōu)惠?江化微的蝕刻液蝕刻液聯(lián)系方式
且過濾部件能將內(nèi)部的過濾板進行拆卸更換,有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,連接構件,連接構件設置在攪拌倉的底部,連接構件與攪拌倉固定連接,連接構件能將裝置主體內(nèi)部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,有效的提高了裝置連接的實用性。附圖說明圖1為本實用新型的整體結構示意圖;圖2為本實用新型的過濾部件剖視圖;圖3為本實用新型的連接構件剖視圖;圖4為本實用新型的內(nèi)部構件連接框架圖。圖中:1、裝置主體,2、支撐腿,3、電源線,4、單片機,5、控制器,6、防滑紋,7、密封閥門(z45x-16),8、收集倉,9、過濾部件,10、常閉式密封電磁閥(zca-15biii02-10),11、連接構件,12、海綿層,13、攪拌電機(5ik),14、去離子水儲罐,15、磷酸儲罐,16、醋酸儲罐,17、硝酸儲罐,18、陰離子表面活性劑儲罐,19、聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,20、氯化鉀儲罐,21、硝酸鉀儲罐,22、密封環(huán),23、攪拌倉,24、滑動蓋,25、收縮彈簧管,26、過濾板,27、螺紋管,28、活動軸,29、密封軟膠層。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖。江化微的蝕刻液蝕刻液聯(lián)系方式
蘇州博洋化學股份有限公司一直專注于危險化學品生產(chǎn)(按《安全生產(chǎn)許可證》所列范圍明細生產(chǎn));化學品銷售(涉及危險化學品的按《危險化學品經(jīng)營許可》核定許可范圍經(jīng)營);自營和代理各類商品及技術的進出口業(yè)務(國家限定企業(yè)經(jīng)營或禁止進出口的商品和技術除外)。用于傳染病防治的消毒產(chǎn)品生產(chǎn)(依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動),是一家精細化學品的企業(yè),擁有自己**的技術體系。公司目前擁有專業(yè)的技術員工,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺與成長空間,為客戶提供高質的產(chǎn)品服務,深受員工與客戶好評。誠實、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液。公司憑著雄厚的技術力量、飽滿的工作態(tài)度、扎實的工作作風、良好的職業(yè)道德,樹立了良好的高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液形象,贏得了社會各界的信任和認可。