磁控濺射的工作原理是指電子在外加電場的作用下,在飛向襯底過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向襯底,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生...
真空鍍膜的方法:濺射鍍膜:濺射鍍膜是指在真空室中,利用荷能粒子轟擊靶表面,使靶材的原子或分子從表面發(fā)射出來,進而在基片上沉積的技術。在濺射鍍鈦的實驗中,電子、離子或中性粒子均可作為轟擊靶的荷能粒子,而...
真空鍍膜的方法很多,計有:真空蒸鍍:將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室,抽空后將膜料加熱到高溫,使蒸氣達到約13。3Pa而使蒸氣分子飛到基體表面,凝結而成薄膜。陰極濺射鍍:將需鍍膜的基體放在陰極對面,把惰...
磁控濺射一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍,基本的原理是在真空中利用輝光放電(glowdischarge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面,電漿中的陽離子...
微納加工的應用領域:微納加工在各個領域都有普遍的應用,下面將分別介紹其在微電子、光電子、生物醫(yī)學和納米材料等領域的應用情況。1.微電子領域:微納加工在微電子領域的應用很普遍,主要用于集成電路制造、傳感...
微納加工是一種利用微納技術對材料進行加工和制造的方法,其發(fā)展趨勢主要包括以下幾個方面:1.多功能集成:微納加工技術可以實現(xiàn)多種功能的集成,例如在微納器件中集成傳感器、執(zhí)行器、電子元件等,從而實現(xiàn)更高級...
原子層沉積過程由A、B兩個半反應分四個基元步驟進行:1)前驅體A脈沖吸附反應;2)惰氣吹掃多余的反應物及副產物;3)前驅體B脈沖吸附反應;4)惰氣吹掃多余的反應物及副產物,然后依次循環(huán)從而實現(xiàn)薄膜在襯...
“納米制造”路線圖強調了未來納米表面制造的發(fā)展。問卷調查探尋了納米表面制備所面臨的機遇。調查中提出的問題旨在獲取納米表面特征的相關信息:這種納米表面結構可以是形貌化、薄膜化的改良表面區(qū)域,也可以是具有...
微納加工技術指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設計、加工、組裝、系統(tǒng)集成與應用技術,涉及領域廣、多學科交叉融合,其較主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)。微納器件與系統(tǒng)是...
什么是微納加工?微納加工技術的發(fā)展還面臨一些挑戰(zhàn)。首先,微納加工技術需要高精度的設備和工藝,成本較高。其次,微納加工技術需要對材料進行精確的控制,對材料的性質和工藝要求較高。此外,微納加工技術還需要解...
微納加工氧化工藝是在高溫下,襯底的硅直接與O2發(fā)生反應從而生成SiO2,后續(xù)O2通過SiO2層擴散到Si/SiO2界面,繼續(xù)與Si發(fā)生反應增加SiO2薄膜的厚度,生成1個單位厚度的SiO2薄膜,需要消...
當前納米制造技術在環(huán)境友好方面有望大展身手的一些領域有以下幾種:1、照明:對于傳統(tǒng)的白熾光源來說,LEDs是一種高效能的替代,納米技術可用來開發(fā)更多新的光源。2、發(fā)動機/燃料效率:采用納米顆粒燃料添加...