磁控濺射是一種常見的薄膜制備技術(shù),其應(yīng)用場景非常廣闊。以下是其中一些典型的應(yīng)用場景:1.光學(xué)薄膜:磁控濺射可以制備高質(zhì)量的光學(xué)薄膜,用于制造光學(xué)器件、太陽能電池板等。2.電子器件:磁控濺射可以制備金屬...
磁控濺射技術(shù)是一種高效、環(huán)保的表面涂層技術(shù),其在建筑行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。以下是磁控濺射在建筑行業(yè)的幾個應(yīng)用方面:1.金屬涂層:磁控濺射技術(shù)可以制備出高質(zhì)量、高耐久性的金屬涂層,這些涂層可以應(yīng)用于建筑...
磁控濺射是一種常用的薄膜制備技術(shù),其靶材的選擇對薄膜的性能和質(zhì)量有著重要的影響。靶材的選擇需要考慮以下因素:1.化學(xué)穩(wěn)定性:靶材需要具有較高的化學(xué)穩(wěn)定性,以保證在濺射過程中不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng),影響薄膜的...
磁控濺射是一種常用的制備薄膜的方法,通過實驗評估磁控濺射制備薄膜的性能可以采用以下方法:1.表面形貌分析:使用掃描電子顯微鏡(SEM)或原子力顯微鏡(AFM)等儀器觀察薄膜表面形貌,評估薄膜的平整度和...
微納加工是一種用于制造微米和納米級尺寸結(jié)構(gòu)和器件的技術(shù)。它是一種高精度、高效率的制造方法,廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、生物醫(yī)學(xué)、納米材料等領(lǐng)域。微納加工技術(shù)包括以下幾種主要技術(shù):1.光刻技術(shù):光刻技術(shù)是...
真空鍍膜的方法:化學(xué)氣相沉積:在等離子化學(xué)氣相沉積法中,等離子體中電子溫度高達104K,電子與氣相分子的碰撞可以促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離過程,生成活性很高的各種化學(xué)基團,產(chǎn)生大量反應(yīng)活性物...
原子層沉積過程由A、B兩個半反應(yīng)分四個基元步驟進行:1)前驅(qū)體A脈沖吸附反應(yīng);2)惰氣吹掃多余的反應(yīng)物及副產(chǎn)物;3)前驅(qū)體B脈沖吸附反應(yīng);4)惰氣吹掃多余的反應(yīng)物及副產(chǎn)物,然后依次循環(huán)從而實現(xiàn)薄膜在襯...
真空鍍膜:磁控濺射法:濺射鍍膜較初出現(xiàn)的是簡單的直流二極濺射,它的優(yōu)點是裝置簡單,但是直流二極濺射沉積速率低;為了保持自持放電,不能在低氣壓(
研究應(yīng)著眼于開發(fā)一種新型的可配置、可升級的微納制造平臺和系統(tǒng),以降低大批量或是小規(guī)模定制產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足下述要求:(1)能生產(chǎn)多種多樣高度復(fù)雜的微納產(chǎn)品;(2)具有微納特性的組...
真空鍍膜:反應(yīng)磁控濺射法:反應(yīng)磁控濺射沉積過程中基板溫度一般不會有很大的升高,而且成膜過程通常也并不要求對基板進行很高溫度的加熱,因此對基板材料的限制較少。反應(yīng)磁控濺射適于制備大面積均勻薄膜,并能實現(xiàn)...
真空鍍膜:真空涂層技術(shù)發(fā)展到了現(xiàn)在還出現(xiàn)了PCVD(物理化學(xué)氣相沉積)、MT-CVD(中溫化學(xué)氣相沉積)等新技術(shù),各種涂層設(shè)備、各種涂層工藝層出不窮。目前較為成熟的PVD方法主要有多弧鍍與磁控濺射鍍兩...
ALD是一種薄膜形成方法,其中將多種氣相原料(前體)交替暴露于基板表面以形成膜。與CVD不同,不同類型的前驅(qū)物不會同時進入反應(yīng)室,而是作為單獨的步驟引入(脈沖)和排出(吹掃)。在每個脈沖中,前體分子在...