（三）空氣過濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進行性能試驗，并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進行檢漏，亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室，只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別，就可以不進行檢漏。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件：由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率，對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍，對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過濾器，應(yīng)用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量**小為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。潔凈室檢測人員需經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)，熟悉檢測流程和標準。湖南實驗室檢測

單向流潔凈室的流動狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流，所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)?，國外的一些標準和文章也指出了這一點。例如，英國標準BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯(lián)邦德國標準VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞，并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當(dāng)時使用的成語中，“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流，而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進流。在流體力學(xué)中，這種流動狀態(tài)也可以稱為平行流動或單向流動。1977年，我國在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞，并指出習(xí)慣上在該詞后稱其為“層流”。安徽潔凈室環(huán)境檢測空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的，而這種級別又是用操作時間空氣的計數(shù)含塵濃度來表示。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響

B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標區(qū)，其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%，粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%，見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定，是基于對擴散元件透過率的計算，該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%，對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器（DPC）或凝聚核計數(shù)器（CNC）的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè)，則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè)，則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時，經(jīng)改進的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。工作設(shè)備布置時要留有一定的間隔，為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件。

潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定，通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。一個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試，第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn)，各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量，測量時間不少于5分鐘。定期對潔凈室管理人員進行培訓(xùn)和考核，提升其專業(yè)素養(yǎng)。湖北潔凈室環(huán)境檢測

潔凈室(區(qū))的日常運行和維護管理是保障其受控狀態(tài)持續(xù)的重要條件。湖南實驗室檢測

潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高，因為現(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準，隨便一?；覊m掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損，甚至導(dǎo)致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。湖南實驗室檢測