單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件。山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)值得推薦
B.3.3.3.2離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)測(cè)量使用離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)方法基本相同,不同點(diǎn)只有一處,由于只需要大粒子的計(jì)數(shù)數(shù)據(jù),因此對(duì)1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計(jì)數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點(diǎn)的空氣;計(jì)數(shù)器采樣管的長(zhǎng)度不得超過1m;離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中,計(jì)數(shù)器采樣口的尺寸應(yīng)適應(yīng)等動(dòng)力采樣。在非單向流區(qū)域,離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣口應(yīng)朝上,采樣口直徑應(yīng)不小于30mm。設(shè)定計(jì)數(shù)器的粒徑范圍,使其只測(cè)量大粒子。為了保證所測(cè)粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度,應(yīng)保留一個(gè)低于5μm(見GB/T25915.1-2010中表1)的粒徑檔。將這個(gè)小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中,濃度之和不應(yīng)超過所用粒子計(jì)數(shù)器比較大濃度建議值的50%。福建口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測(cè)服務(wù)至上潔凈室環(huán)境檢測(cè)依據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響
4.1.1潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定,并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定:1應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí),應(yīng)位于比較大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè),或全年極小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。3應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔,人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2對(duì)于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇,應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響,并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定。4.1.3潔凈廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的極近距離宜大于50m。4.1.4潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道,也可沿廠房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。4.1、5潔凈廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。4.1.6潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化??射佒膊萜?,不應(yīng)種植對(duì)生產(chǎn)有害的植物,并不得妨礙消防作業(yè)。通過定期檢測(cè),可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。
五、潔凈室檢測(cè)的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè):醫(yī)藥制造需要在無菌環(huán)境下完成,因此需要設(shè)立無菌車間(即“百級(jí)”車間)。該車間內(nèi)所有通風(fēng)系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范,并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機(jī)構(gòu)審核。2.電子行業(yè):由于微型芯片制造需要極為干燥無塵且高溫高壓條件下完成,在微電子制造廠中必須建立超純水站(UPW)以及超純氮?dú)庹荆∟G)等設(shè)施來滿足生產(chǎn)需要。3.航天航空行業(yè):航天器發(fā)射前需要進(jìn)入“百萬(wàn)級(jí)”或“十萬(wàn)級(jí)”無菌車間進(jìn)行組裝與測(cè)試。這些車間具有完成**終裝配所需條件(如真空環(huán)境),并能夠有效防止外界雜質(zhì)進(jìn)入艙體內(nèi)部。壓差檢測(cè)有助于確認(rèn)潔凈室與非潔凈區(qū)之間的隔離效果。遼寧潔凈室檢測(cè)技術(shù)好
潔凈室檢測(cè)后,需形成詳細(xì)的檢測(cè)報(bào)告,記錄各項(xiàng)指標(biāo)數(shù)據(jù)。山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)值得推薦
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的,所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室這個(gè)名詞是不貼切的,國(guó)外某些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出這一點(diǎn),例如英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室,只是照顧習(xí)慣在括號(hào)中注明為層流。前聯(lián)邦德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語(yǔ),并在注中指出,層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊(亂)流潔凈室而在當(dāng)時(shí)采用的習(xí)慣用語(yǔ),“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動(dòng),而是紊流的置換流,用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中,這種流動(dòng)狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中國(guó)在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個(gè)術(shù)語(yǔ),在該術(shù)語(yǔ)后面同時(shí)也指出習(xí)慣上稱“層流”。山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)值得推薦
浮游菌檢測(cè)浮游菌檢測(cè)是評(píng)估潔凈室生物污染程度的關(guān)鍵檢測(cè)項(xiàng)目,尤其在制藥、食品、醫(yī)療器械等對(duì)微生物控制要求極高的行業(yè),浮游菌檢測(cè)結(jié)果直接關(guān)系到產(chǎn)品的安全性和有效性。檢測(cè)原理是利用空氣采樣器,以恒定的流量抽取潔凈室內(nèi)空氣,使空氣中懸浮的微生物粒子收集到裝有瓊脂培養(yǎng)基的培養(yǎng)皿上。采樣過程需嚴(yán)格遵循無菌操作規(guī)范,采樣人員需穿戴符合潔凈室等級(jí)要求的無菌服、口罩、手套等防護(hù)裝備。采樣點(diǎn)的布置與空氣塵埃粒子檢測(cè)類似,但需考慮微生物易滋生的區(qū)域,如墻角、設(shè)備縫隙等。采樣時(shí)間根據(jù)空氣采樣器的流量和預(yù)期的微生物濃度而定,一般每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣時(shí)間在10-30分鐘不等。采樣結(jié)束后,將培養(yǎng)皿置于適宜的溫度(通常為30-...