壓差檢測(cè)要求:(1)靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門(mén)全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,一直檢測(cè)到直通室外的房間。(3)測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的任何地方均可,測(cè)管口面與氣流流線平行。(4)所測(cè)量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測(cè)步驟:(1)先關(guān)閉所有的門(mén)。(2)用微差壓計(jì)測(cè)量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于10Pa。(3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)(100級(jí))的單向流潔凈室在開(kāi)門(mén)時(shí),門(mén)內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣。浙江電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對(duì)無(wú)塵等級(jí)的要求比較高,因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級(jí)的水準(zhǔn),隨便一?;覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無(wú)塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無(wú)塵室與負(fù)壓無(wú)塵室。一般正壓無(wú)塵室比較常見(jiàn),就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。安徽潔凈室檢測(cè)價(jià)格實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)能夠持續(xù)監(jiān)控潔凈室環(huán)境,及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常情況。
(1)將所有的門(mén)關(guān)閉,將測(cè)定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠(yuǎn)處,垂直于氣流方向設(shè)置周圍無(wú)阻擋氣流擾動(dòng)**小。(2)靜壓差的測(cè)定應(yīng)從平面上**里面的房間,通常也就是潔凈度級(jí)別比較高的房間,與其緊鄰的房間之間的壓差測(cè)起依次向外測(cè)定,直至測(cè)得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。(3)對(duì)于潔凈度高于5級(jí)的單向流層流潔凈室,還應(yīng)測(cè)定在門(mén)開(kāi)啟狀態(tài)下離門(mén)口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。5、檢測(cè)時(shí)的注意事項(xiàng)在進(jìn)行潔凈室靜壓差檢測(cè)之前,必須先驗(yàn)證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時(shí),應(yīng)該關(guān)閉的門(mén)全部關(guān)閉條件下的送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量是否與規(guī)定風(fēng)量相符。若達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)的要求應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量直至合格為止。
1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備,以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房,空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線,并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級(jí)房間之間聯(lián)系頻繁時(shí),宜設(shè)有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口,物料傳遞路線應(yīng)極短,物料進(jìn)人潔凈室(區(qū))之前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。引入第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行定期審核,確保檢測(cè)結(jié)果的公正性。
3.壓差檢測(cè):潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測(cè)通過(guò)對(duì)潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測(cè)量,確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求,從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室。4.氣流速度檢測(cè):潔凈室內(nèi)的氣流速度對(duì)于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過(guò)快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚(yáng),而氣流速度過(guò)慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積。因此,氣流速度檢測(cè)是評(píng)估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測(cè):潔凈室內(nèi)的各種表面,如墻壁、地面、設(shè)備外殼等,也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測(cè)通過(guò)對(duì)這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測(cè),評(píng)估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室。上海生物安全柜檢測(cè)誠(chéng)信推薦
通過(guò)潔凈室檢測(cè),可以有效降低產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中的污染風(fēng)險(xiǎn)。浙江電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。5.1.2潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。5.1.3潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào),并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。5.1.4送、回風(fēng)管和其他管線暗敷時(shí),應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí),宜設(shè)置技術(shù)豎井,其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)符合風(fēng)道、管線的安裝、檢修和防火要求。5.1.5對(duì)兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房的平面布局和構(gòu)造處理,應(yīng)避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)帶來(lái)不利的影響。浙江電子廠房環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
浮游菌檢測(cè)浮游菌檢測(cè)是評(píng)估潔凈室生物污染程度的關(guān)鍵檢測(cè)項(xiàng)目,尤其在制藥、食品、醫(yī)療器械等對(duì)微生物控制要求極高的行業(yè),浮游菌檢測(cè)結(jié)果直接關(guān)系到產(chǎn)品的安全性和有效性。檢測(cè)原理是利用空氣采樣器,以恒定的流量抽取潔凈室內(nèi)空氣,使空氣中懸浮的微生物粒子收集到裝有瓊脂培養(yǎng)基的培養(yǎng)皿上。采樣過(guò)程需嚴(yán)格遵循無(wú)菌操作規(guī)范,采樣人員需穿戴符合潔凈室等級(jí)要求的無(wú)菌服、口罩、手套等防護(hù)裝備。采樣點(diǎn)的布置與空氣塵埃粒子檢測(cè)類似,但需考慮微生物易滋生的區(qū)域,如墻角、設(shè)備縫隙等。采樣時(shí)間根據(jù)空氣采樣器的流量和預(yù)期的微生物濃度而定,一般每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣時(shí)間在10-30分鐘不等。采樣結(jié)束后,將培養(yǎng)皿置于適宜的溫度(通常為30-...