15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時，應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計；3對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時，應(yīng)采取被動隔振措施。引進(jìn)先進(jìn)的檢測技術(shù)，提升潔凈室檢測的效率和準(zhǔn)確性。山東潔凈室檢測方便客戶

潔凈室竣工驗收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機(jī)、凈化空調(diào)機(jī)組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6、送回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。湖南實驗室環(huán)境檢測優(yōu)化價格對于不安裝過濾器的風(fēng)口可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口風(fēng)量測試的方法進(jìn)行。

4.1.1潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定：1應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時，應(yīng)位于比較大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年極小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。3應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔，人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定。4.1.3潔凈廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的極近距離宜大于50m。4.1.4潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道，也可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車道。4.1、5潔凈廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。4.1.6潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化。可鋪植草坪，不應(yīng)種植對生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。

B.1.2.2空氣懸浮粒子計數(shù)規(guī)程將離散粒子計數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置，設(shè)定計數(shù)器的流量，選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣[1]，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點(diǎn)，將采樣口正對氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(例如非單向流)的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上。采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時，連接管的長度和直徑不應(yīng)超過制造商的建議值。采樣過程中，因擴(kuò)散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%。對于來流的潔凈度，對通過高效以上過濾器送風(fēng)的單向流潔凈室來說是不成問題的。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。潔凈室檢測需考慮季節(jié)性變化對環(huán)境參數(shù)的影響。湖南實驗室環(huán)境檢測優(yōu)化價格

空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的，而這種級別又是用操作時間空氣的計數(shù)含塵濃度來表示。山東潔凈室檢測方便客戶

1.適用范圍此程序適用于高效過濾器完整性測試(俗稱高效過濾器檢漏)。2.高效過濾器檢漏原理通過氣溶膠光度計測定上下游粒子的濃度，得出泄漏率的大小。3.儀器設(shè)備氣溶膠發(fā)生器氣溶膠光度計供氣軟管耗材:PAO(EMERY3004)高效過濾器檢漏價格?高效過濾器檢漏按照高效過濾器數(shù)量進(jìn)行收費(fèi)，過濾器分為液槽式過濾器和隔板式過濾器，一般檢測時采用冷發(fā)收費(fèi)較貴而采用熱發(fā)收費(fèi)較為優(yōu)惠，具體報價請聯(lián)系旦霆科技銷售顧問。高效過濾器檢漏周期?高效過濾器檢漏周期一般按照GB規(guī)定每1年進(jìn)行高效過濾器檢漏一次4.高效過濾器完整性測試方法/高效過濾器檢漏方法/高效過濾器DOP檢漏方法操作步驟預(yù)檢查①對于非層流區(qū)域-關(guān)閉HVAC的風(fēng)機(jī)。-拆除中效過濾器。-將氣溶膠發(fā)生器放置于機(jī)組的負(fù)壓段。②對于層流單元-發(fā)煙位置靠近回風(fēng)口，風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或?qū)ｉT的氣溶膠發(fā)煙口。-找到高效過濾器前的測試軟管或測試孔，如果沒有測試孔，可在空調(diào)機(jī)組的壓力表處測試上游濃度。-將光度計內(nèi)部參數(shù)調(diào)節(jié)至100。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)-掃描HEPA的表面及其邊框。-對球型結(jié)構(gòu)，直接將高效過濾器的軟管或洞與光度計下游通道相連。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)測試程序-接通電源，溫度升至400??C。山東潔凈室檢測方便客戶