B.1.2.2空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)規(guī)程將離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置，設(shè)定計(jì)數(shù)器的流量，選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣[1]，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn)，將采樣口正對(duì)氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(cè)(例如非單向流)的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上。采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時(shí)，連接管的長(zhǎng)度和直徑不應(yīng)超過制造商的建議值。采樣過程中，因擴(kuò)散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%。潔凈室檢測(cè)數(shù)據(jù)應(yīng)與其他質(zhì)量控制數(shù)據(jù)相結(jié)合，綜合分析。上海實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)技術(shù)好

B.2.1.3粒徑限制器為獲得測(cè)量或驗(yàn)證U描述符所需的計(jì)數(shù)效率特性，可在計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器的采樣管上，安裝一個(gè)粒徑限制器。改動(dòng)后，計(jì)數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi)。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子，以準(zhǔn)確且可再現(xiàn)的方式降低透過率。粒徑限制器多種多樣，其大小和配置各異，只要它們具有所要求的透過率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴(kuò)散元件和虛擬撞擊器。透過率隨粒子的物理特性、限制器構(gòu)造和體積流量而變化。因此，使用粒徑限制器時(shí)要小心，它們只能用于規(guī)定的流量，安裝時(shí)要防靜電累積。為了減少電荷累積，粒徑限制器應(yīng)有良好的接地。檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除。

在單向流潔凈室中，潔凈氣流不是一股或幾股，而是充滿整個(gè)房間截面，所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的混合稀釋作用，而是依靠在干凈的氣流上推出效果。室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排到室外，達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。因此，前聯(lián)邦德國(guó)有人將單向流潔凈室的氣流稱為“塞流”、“塞流”，前蘇聯(lián)則稱其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個(gè)空氣活塞，沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動(dòng)，使塵粒只能向前(向下)移動(dòng)而不能返回，在單流潔凈室和單流凈化設(shè)備中，逆向氣流可以沿著墻壁和兩個(gè)過濾器的重疊部分下方出現(xiàn)。這種氣流會(huì)將污染從底部傳送到頂部，然后向下傳送，破壞上述“塞流”狀態(tài)，危害極大。對(duì)于有開口與外界相連的局部?jī)艋O(shè)備，如潔凈工作臺(tái)，這種氣流會(huì)導(dǎo)致外部污染氣流。在設(shè)計(jì)中，必須減少濾框占用的無(wú)效面積，減少空間的壁面。盡可能靠近過濾器的有效風(fēng)截面。

對(duì)單向流如5級(jí)凈化房間內(nèi)及層流工作臺(tái)測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于10分鐘后開始；對(duì)非單向流如7級(jí)、8級(jí)以上的凈化房間測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于30分鐘開始。a.采樣方法：將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點(diǎn)，打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時(shí)再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束，將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時(shí)間不少于48小時(shí)。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對(duì)照試驗(yàn)檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對(duì)照培養(yǎng)。c.菌落計(jì)數(shù)用肉眼直接計(jì)數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個(gè)或2個(gè)以上菌落重疊可分辨時(shí)仍以2個(gè)或2個(gè)以上的菌落計(jì)數(shù)。潔凈室檢測(cè)不僅是技術(shù)活動(dòng)，也是一項(xiàng)管理活動(dòng)。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。潔凈室檢測(cè)人員需經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)，熟悉檢測(cè)流程和標(biāo)準(zhǔn)。山東排風(fēng)柜檢測(cè)價(jià)格

潔凈室檢測(cè)后，需形成詳細(xì)的檢測(cè)報(bào)告，記錄各項(xiàng)指標(biāo)數(shù)據(jù)。上海實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)技術(shù)好

潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定，通常分為兩個(gè)檔次：一般測(cè)試和綜合測(cè)試。一個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試，第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn)，各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開始測(cè)量，測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。上海實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)技術(shù)好