壓差檢測要求：(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測步驟：(1)先關(guān)閉所有的門。(2)用微差壓計(jì)測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差，應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差，不應(yīng)小于10Pa。(3)對于空氣潔凈度等級嚴(yán)于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時(shí)，門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級別的含塵濃度限值。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。潔凈室的氣流組織模式直接影響其潔凈效果，需通過模擬測試驗(yàn)證。上海生物安全柜檢測

（三）空氣過濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計(jì)數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn)，并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏，亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室，只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級別，就可以不進(jìn)行檢漏。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件：由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率，對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍，對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過濾器，應(yīng)用掃描法進(jìn)行過濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量**小為1L/min的粒子計(jì)數(shù)器法兩種。浙江國內(nèi)檢測方便客戶空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度，通?？諝庵泻瑝m濃度高則空氣潔凈度低。

每臺(tái)風(fēng)機(jī)出風(fēng)面至少1點(diǎn)平均風(fēng)速范圍：m/s±20%額定風(fēng)量測定用風(fēng)量罩測試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置：回風(fēng)口，風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計(jì)設(shè)置氣溶膠濃度調(diào)節(jié)F.檢漏掃描整個(gè)過濾器和安裝所有邊框和接點(diǎn)。采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）。采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結(jié)構(gòu)部件：a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個(gè)濾器d)密封條、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）f)采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn)泄露率≤6.高效過濾器完整性檢測標(biāo)準(zhǔn)(高效過濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn))ISO14644-3。

A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服，不得超過2人，應(yīng)位于測試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點(diǎn)，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點(diǎn)，將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大，故新風(fēng)處理所需冷量消耗大。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響潔凈室(區(qū))的日常運(yùn)行和維護(hù)管理是保障其受控狀態(tài)持續(xù)的重要條件。上海潔凈室環(huán)境檢測技術(shù)好

潔凈室(區(qū))溫度應(yīng)為18~26℃，相對濕度應(yīng)為45%~65%。上海生物安全柜檢測

潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高，因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準(zhǔn)，隨便一?；覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損，甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。上海生物安全柜檢測