潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高，因為現(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準，隨便一?；覊m掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損，甚至導(dǎo)致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。潔凈室檢測結(jié)果的準確性直接影響到產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。山東實驗室環(huán)境檢測誠信推薦

B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標區(qū)，其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%，粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%，見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定，是基于對擴散元件透過率的計算，該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%，對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器（DPC）或凝聚核計數(shù)器（CNC）的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè)，則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè)，則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時，經(jīng)改進的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。山東潔凈工作臺檢測誠信推薦壓差檢測有助于確認潔凈室與非潔凈區(qū)之間的隔離效果。

抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進行性能試驗，并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進行檢漏，亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室，只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別，就可以不進行檢漏。技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件：由受檢過濾器下風側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率，對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍，對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器，應(yīng)用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。

B.4.2.2送風風速風速測點距過濾器出風面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風量，測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風機-過濾單元(FFU)的出風面上至少要有一個測點?？墒褂密浐熥钃鯇蜗蛄鞯母蓴_。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點而言,應(yīng)記錄風速測量平均時間。B.4.2.2送風風速風速測點距過濾器出風面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風量，測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風機-過濾單元(FFU)的出風面上至少要有一個測點?？墒褂密浐熥钃鯇蜗蛄鞯母蓴_。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點而言,應(yīng)記錄風速測量平均時間。有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。

相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。通過定期檢測，可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。廣東潔凈工作臺檢測值得推薦

各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。山東實驗室環(huán)境檢測誠信推薦

單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的，所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室這個名詞是不貼切的，國外某些標準和文章也指出這一點，例如英國標準BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室，只是照顧習慣在括號中注明為層流。前聯(lián)邦德國標準VDl-2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語，并在注中指出，層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊（亂）流潔凈室而在當時采用的習慣用語，“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動，而是紊流的置換流，用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中，這種流動狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個術(shù)語，在該術(shù)語后面同時也指出習慣上稱“層流”。山東實驗室環(huán)境檢測誠信推薦