B.2.1.3粒徑限制器為獲得測量或驗(yàn)證U描述符所需的計(jì)數(shù)效率特性,可在計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器的采樣管上,安裝一個(gè)粒徑限制器。改動(dòng)后,計(jì)數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi)。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子,以準(zhǔn)確且可再現(xiàn)的方式降低透過率。粒徑限制器多種多樣,其大小和配置各異,只要它們具有所要求的透過率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴(kuò)散元件和虛擬撞擊器。透過率隨粒子的物理特性、限制器構(gòu)造和體積流量而變化。因此,使用粒徑限制器時(shí)要小心,它們只能用于規(guī)定的流量,安裝時(shí)要防靜電累積。為了減少電荷累積,粒徑限制器應(yīng)有良好的接地。定期進(jìn)行光照度檢測,確保工作區(qū)域光線充足且均勻。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
五、潔凈室檢測的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè):醫(yī)藥制造需要在無菌環(huán)境下完成,因此需要設(shè)立無菌車間(即“百級”車間)。該車間內(nèi)所有通風(fēng)系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范,并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機(jī)構(gòu)審核。2.電子行業(yè):由于微型芯片制造需要極為干燥無塵且高溫高壓條件下完成,在微電子制造廠中必須建立超純水站(UPW)以及超純氮?dú)庹荆∟G)等設(shè)施來滿足生產(chǎn)需要。3.航天航空行業(yè):航天器發(fā)射前需要進(jìn)入“百萬級”或“十萬級”無菌車間進(jìn)行組裝與測試。這些車間具有完成**終裝配所需條件(如真空環(huán)境),并能夠有效防止外界雜質(zhì)進(jìn)入艙體內(nèi)部。北京電子廠房環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)凡有試運(yùn)轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響
單向流潔凈室的流動(dòng)狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)模瑖獾囊恍?biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點(diǎn)。例如,英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號(hào)中表示。原聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當(dāng)時(shí)使用的成語中,“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流,而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進(jìn)流。在流體力學(xué)中,這種流動(dòng)狀態(tài)也可以稱為平行流動(dòng)或單向流動(dòng)。1977年,我國在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞,并指出習(xí)慣上在該詞后稱其為“層流”。引入第三方檢測機(jī)構(gòu)進(jìn)行定期審核,確保檢測結(jié)果的公正性。
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準(zhǔn),隨便一?;覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。溫濕度控制是維持潔凈室環(huán)境穩(wěn)定的重要因素之一。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
潔凈室檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性直接影響到產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的,所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室這個(gè)名詞是不貼切的,國外某些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出這一點(diǎn),例如英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室,只是照顧習(xí)慣在括號(hào)中注明為層流。前聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語,并在注中指出,層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊(亂)流潔凈室而在當(dāng)時(shí)采用的習(xí)慣用語,“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動(dòng),而是紊流的置換流,用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中,這種流動(dòng)狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個(gè)術(shù)語,在該術(shù)語后面同時(shí)也指出習(xí)慣上稱“層流”。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
浮游菌檢測浮游菌檢測是評估潔凈室生物污染程度的關(guān)鍵檢測項(xiàng)目,尤其在制藥、食品、醫(yī)療器械等對微生物控制要求極高的行業(yè),浮游菌檢測結(jié)果直接關(guān)系到產(chǎn)品的安全性和有效性。檢測原理是利用空氣采樣器,以恒定的流量抽取潔凈室內(nèi)空氣,使空氣中懸浮的微生物粒子收集到裝有瓊脂培養(yǎng)基的培養(yǎng)皿上。采樣過程需嚴(yán)格遵循無菌操作規(guī)范,采樣人員需穿戴符合潔凈室等級要求的無菌服、口罩、手套等防護(hù)裝備。采樣點(diǎn)的布置與空氣塵埃粒子檢測類似,但需考慮微生物易滋生的區(qū)域,如墻角、設(shè)備縫隙等。采樣時(shí)間根據(jù)空氣采樣器的流量和預(yù)期的微生物濃度而定,一般每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣時(shí)間在10-30分鐘不等。采樣結(jié)束后,將培養(yǎng)皿置于適宜的溫度(通常為30-...