9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過(guò)濾器隨運(yùn)行時(shí)間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風(fēng)風(fēng)量，經(jīng)常手動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥，以增加風(fēng)量，調(diào)整很麻煩；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中，系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)為使風(fēng)機(jī)空載啟動(dòng)，首先將風(fēng)機(jī)出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機(jī)啟動(dòng)后，由于風(fēng)閥上承受壓力很大，打開(kāi)十分困難。當(dāng)采用空氣過(guò)濾器前后壓力差的變化控制送風(fēng)機(jī)的變頻調(diào)速裝置后，送風(fēng)量的調(diào)節(jié)變得十分容易，送風(fēng)壓力穩(wěn)定。同時(shí)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分***。9.4.3為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風(fēng)機(jī)停轉(zhuǎn)無(wú)風(fēng)或超溫時(shí)，電加熱器繼續(xù)送電加熱會(huì)造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火災(zāi)，本條強(qiáng)制性規(guī)定應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姷缺Ｗo(hù)裝置。潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。安徽半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)報(bào)告

近年來(lái)，國(guó)內(nèi)外一些潔凈廠房中一級(jí)用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時(shí)變動(dòng)而引起停電事故頻繁發(fā)生，造成了較大的經(jīng)濟(jì)損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護(hù)系統(tǒng)失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設(shè)計(jì)中也很重要。從工藝性質(zhì)來(lái)看，潔凈廠房?jī)?nèi)一般從事精密視覺(jué)工作，需要高照度高質(zhì)量照明。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問(wèn)題外，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。........安徽過(guò)濾器潔凈室檢測(cè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。

15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測(cè)試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。15.1.2設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時(shí)，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)；3對(duì)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測(cè)試確認(rèn)受到周?chē)駝?dòng)影響時(shí)，應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類(lèi)生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級(jí)的保持密切相關(guān)，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場(chǎng)所設(shè)置，并宜布置在上風(fēng)側(cè)；空氣潔凈度等級(jí)要求相同的工序或工作室相對(duì)集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求。另外，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快，電子工廠在實(shí)際生產(chǎn)中，在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多，因此在做工藝布局時(shí)，應(yīng)根據(jù)具體情況，考慮這些因素，留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施，如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室；大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室，一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗；穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等。潔凈室（區(qū))與周?chē)目臻g必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。

C.3已裝過(guò)濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過(guò)濾系統(tǒng)掃描檢漏前，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測(cè)。C.3.2過(guò)濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時(shí)檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)會(huì)過(guò)度污染過(guò)濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過(guò)平均測(cè)量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度，移動(dòng)采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時(shí)，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過(guò)濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動(dòng)力采樣”)。采樣探頭距過(guò)濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm。C.3.5掃描應(yīng)遍及過(guò)濾器的整個(gè)出風(fēng)面、過(guò)濾器的周邊、過(guò)濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點(diǎn)。C.3.6驗(yàn)收限值：當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時(shí)，就認(rèn)為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗(yàn)收限值。掃描時(shí)任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測(cè)量一段時(shí)間，光度計(jì)獲得比較大讀數(shù)時(shí)采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的，潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求，這是理所當(dāng)然的。浙江國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)技術(shù)好

可燃?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或極高點(diǎn)均應(yīng)設(shè)置放散管。安徽半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)報(bào)告

9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。9.1.2純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)；潔凈室（區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室（區(qū)）墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。9.1.4潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料，不得產(chǎn)生污染物，外表面應(yīng)平整、光滑、易于清潔。。。。。。。。。安徽半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)報(bào)告