空氣潔凈度：這是潔凈車(chē)間環(huán)境檢測(cè)的**指標(biāo)，通常通過(guò)檢測(cè)空氣中的塵埃粒子數(shù)來(lái)評(píng)估。不同潔凈等級(jí)的車(chē)間對(duì)塵埃粒子的限制不同，如潔凈度等級(jí)為100級(jí)的車(chē)間對(duì)大于等于5μm的塵粒有嚴(yán)格的計(jì)數(shù)要求。微生物指標(biāo)：包括浮游菌、沉降菌等微生物的數(shù)量。這些微生物可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和工作人員健康造成影響，因此需要進(jìn)行嚴(yán)格的控制和監(jiān)測(cè)。溫度與濕度：潔凈車(chē)間需要保持穩(wěn)定的溫度和濕度環(huán)境，以確保生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。通常，生產(chǎn)工藝對(duì)溫度和濕度無(wú)特殊要求時(shí)，潔凈室溫度應(yīng)為18~26℃，相對(duì)濕度應(yīng)為45~65%。實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)能夠持續(xù)監(jiān)控潔凈室環(huán)境，及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常情況。潔凈室環(huán)境檢測(cè)方便客戶(hù)

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響潔凈室環(huán)境檢測(cè)方便客戶(hù)潔凈室檢測(cè)不僅是技術(shù)活動(dòng)，也是一項(xiàng)管理活動(dòng)。

潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對(duì)無(wú)塵等級(jí)的要求比較高，因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級(jí)的水準(zhǔn)，隨便一?；覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線(xiàn)路的毀損，甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無(wú)塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無(wú)塵室與負(fù)壓無(wú)塵室。一般正壓無(wú)塵室比較常見(jiàn)，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。

B.4.3.2送風(fēng)口處測(cè)量的送風(fēng)量為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動(dòng)和氣流噴射的影響，建議采用風(fēng)罩測(cè)量末端過(guò)濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量?？墒褂门溆辛髁坑?jì)的風(fēng)量罩直接測(cè)量，也可用風(fēng)罩出風(fēng)的風(fēng)速乘以有效面積求出送風(fēng)量。風(fēng)罩的上開(kāi)口應(yīng)完全罩住過(guò)濾器或散流器；為了避免旁通漏風(fēng)造成的讀數(shù)不準(zhǔn)，風(fēng)罩的上沿應(yīng)密封靠緊平坦的表面。若采用帶流量計(jì)的風(fēng)量罩，則可在風(fēng)罩的出風(fēng)端口直接測(cè)量各個(gè)末端過(guò)濾器或送風(fēng)散流器的風(fēng)量。。。。。。。壓差檢測(cè)有助于確認(rèn)潔凈室與非潔凈區(qū)之間的隔離效果。

1、凡有試運(yùn)轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。屬于機(jī)械設(shè)備的共性要求還應(yīng)符合國(guó)家相關(guān)規(guī)定和機(jī)械設(shè)備施工安裝方面的有關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通常潔凈室需進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備有空調(diào)機(jī)組、送風(fēng)增壓風(fēng)機(jī)箱、排風(fēng)設(shè)備、凈化工作臺(tái)、靜電自?xún)羝?、潔凈干燥箱、潔凈?chǔ)物柜等局部?jī)艋O(shè)備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設(shè)備等。2、在單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后需對(duì)送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量、風(fēng)壓調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行設(shè)定與調(diào)整使各系統(tǒng)的風(fēng)量分配達(dá)到設(shè)計(jì)要求。這個(gè)階段檢測(cè)的目的主要是服務(wù)于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與平衡往往需要反復(fù)進(jìn)行多次。此項(xiàng)檢測(cè)主要由承包商負(fù)責(zé)建設(shè)方的維護(hù)管理人員宜于跟進(jìn)以便熟悉系統(tǒng)。在此基礎(chǔ)上再進(jìn)行包括冷、熱源在內(nèi)的系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間一般不少于8h。要求系統(tǒng)中各項(xiàng)設(shè)備部件包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置等的聯(lián)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)與協(xié)調(diào)過(guò)程中應(yīng)動(dòng)作正確無(wú)異?，F(xiàn)象。定期進(jìn)行光照度檢測(cè)，確保工作區(qū)域光線(xiàn)充足且均勻。浙江實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

對(duì)于來(lái)流的潔凈度，對(duì)通過(guò)高效以上過(guò)濾器送風(fēng)的單向流潔凈室來(lái)說(shuō)是不成問(wèn)題的。潔凈室環(huán)境檢測(cè)方便客戶(hù)

潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定，通常分為兩個(gè)檔次：一般測(cè)試和綜合測(cè)試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試，第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類(lèi)測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn)，各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量，測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。潔凈室環(huán)境檢測(cè)方便客戶(hù)