1近年來,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),實際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,實際上,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)??谡稚a(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測價格
10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,應(yīng)符合下列要求:1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時,氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時,也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi);4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等,宜集中設(shè)置在氣體入口室。浙江潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測周期無菌室,亦稱為凈化室或潔凈室,是一種專門設(shè)計用于控制環(huán)境污染的封閉空間。
1管道連接應(yīng)采用焊接,熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊,以對接焊或承接焊連接;高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定:1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計工況選擇,宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定,宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應(yīng)采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料,并應(yīng)平整、光潔,宜采用金屬外殼保護(hù)。
D.3.5氣流流型的檢測,應(yīng)符合下列規(guī)定:1氣流流型的檢測,宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注人法,并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。3示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在**度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。5應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)***流目測,本法一般是與示蹤法結(jié)合,將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置、儀器等,應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近。
從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來看,有以下幾個特點:潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下,噪聲條件主要在于保障正常操作運行,滿足必要的談話聯(lián)系,提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍,醫(yī)療行業(yè)則更低?,F(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲壓級作為評價指標(biāo),也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對各頻帶聲壓級提出了限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值,而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統(tǒng)一的容許值。根據(jù)潔凈室特點,宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。上海純化水檢測潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)
一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測價格
4.1.1潔凈廠房位置的選擇,應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定:1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域;2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區(qū)域。不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時,則應(yīng)位于全年**小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè);3在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測價格
潔凈室檢測在生物安全實驗室中的特殊應(yīng)用生物安全潔凈室(如P3、P4實驗室)的檢測除常規(guī)項目外,還需關(guān)注生物安全防護(hù)措施的有效性,包括負(fù)壓梯度控制(**工作區(qū)與相鄰區(qū)域壓差≥-30Pa)、高效過濾器檢漏(需在生物安全柜運行時同步檢測)、消毒滅菌效果驗證(如甲醛熏蒸后的殘留濃度檢測,要求≤0.1ppm)。檢測人員進(jìn)入此類潔凈室前,需經(jīng)過嚴(yán)格的生物安全培訓(xùn),穿戴正壓防護(hù)服并進(jìn)***密性檢測(泄漏率≤0.05%),檢測過程中若發(fā)生樣本泄漏,需立即啟動應(yīng)急消毒程序(如自動噴霧過氧化氫滅菌系統(tǒng))。生物安全柜的檢測是重點項目,需驗證其氣流流向(垂直氣流≥0.3m/s,流入氣流≥0.5m/s)、高效過濾器完整...