(1)凈化處理原則：能用局部?jī)艋膱?chǎng)合，就盡可能不用凈化；或低級(jí)別的凈化高級(jí)別的局部?jī)艋嘟Y(jié)合。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間，這樣做雖然有利于控制污染，但這也造成平面復(fù)雜化、增加造價(jià)、作業(yè)程序不易改變、人員流動(dòng)不方便，以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性，潔凈室的微粒實(shí)際上是不均勻分布的，較為典型的三區(qū)不均勻分布模型，即分為主流區(qū)、渦流區(qū)和回風(fēng)口區(qū)。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)。(3)主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段，上風(fēng)段相對(duì)來(lái)說(shuō)，潔凈程度比下風(fēng)段要好表2為某10萬(wàn)級(jí)潔凈車間內(nèi)沿一條送風(fēng)管走向設(shè)置的六個(gè)測(cè)點(diǎn)檢測(cè)結(jié)果(空態(tài)下)，測(cè)點(diǎn)l~6由上風(fēng)段依次向下，可以看出，各點(diǎn)塵粒數(shù)有較大區(qū)別當(dāng)然，其中也有送風(fēng)管上各送風(fēng)口風(fēng)量沒(méi)有較好調(diào)節(jié)的原因，但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視。潔凈室檢測(cè)人員需經(jīng)過(guò)專業(yè)培訓(xùn)，熟悉檢測(cè)流程和標(biāo)準(zhǔn)。湖北實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

（1）亂流潔凈室a.對(duì)于不安裝過(guò)濾器的風(fēng)口可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口風(fēng)量測(cè)試的方法進(jìn)行。b.對(duì)于安有過(guò)濾器的風(fēng)口，根據(jù)風(fēng)口形式可選用輔助風(fēng)管，即用硬質(zhì)板材做成與風(fēng)口內(nèi)截面相同、長(zhǎng)度等于2倍風(fēng)口邊長(zhǎng)的直管段連接于過(guò)濾器風(fēng)口外部在輔助風(fēng)管出口平面上，按**少測(cè)點(diǎn)數(shù)不少于6點(diǎn)均勻布置測(cè)點(diǎn)，用熱球風(fēng)速儀測(cè)定各點(diǎn)風(fēng)速，以風(fēng)口截面平均風(fēng)速乘以風(fēng)口凈截面積確定風(fēng)量。c.對(duì)于安有同類擴(kuò)散板的風(fēng)口，可以根據(jù)擴(kuò)散板的風(fēng)量阻力曲線和實(shí)測(cè)擴(kuò)散板阻力，查出風(fēng)量測(cè)定時(shí)用微壓計(jì)和畢托管或用細(xì)橡管代替畢托管，但都必須使測(cè)孔平面與氣流方向垂直使測(cè)值正確反映靜壓值。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)誠(chéng)信推薦潔凈室檢測(cè)不僅是技術(shù)活動(dòng)，也是一項(xiàng)管理活動(dòng)。

（1）檢測(cè)前，被測(cè)潔凈室的運(yùn)行狀態(tài)必須在正常狀態(tài)，其溫度、濕度、風(fēng)量、風(fēng)壓及風(fēng)速必須在控制的規(guī)定值內(nèi)；被測(cè)試的潔凈室（區(qū)）應(yīng)已進(jìn)行過(guò)消毒；同時(shí)，潔凈室的測(cè)試狀態(tài)必須符合生產(chǎn)工藝的要求，并在測(cè)試報(bào)告中注明其測(cè)試狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）。（2）測(cè)試人員必須穿戴潔凈服，而且一般不得超過(guò)兩個(gè)人。（3）凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間對(duì)單向流如5級(jí)（100級(jí)）潔凈室或?qū)恿鞴ぷ髋_(tái)不得少于10min；對(duì)非單向流如7級(jí)（10000級(jí)）、8級(jí)（100000級(jí)）的潔凈室不得少于30min。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。潔凈室檢測(cè)中，需特別關(guān)注空氣交換率和自凈時(shí)間。

A、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服，不得超過(guò)2人，應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn)，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”。D、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn)，將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右，要均勻科學(xué)布點(diǎn)，而且要避開(kāi)回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè)，總采樣數(shù)可根據(jù)面積開(kāi)2次根求得。**少采樣點(diǎn)數(shù)目對(duì)應(yīng)懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù)，工作區(qū)測(cè)點(diǎn)位置離地0.8-1.2m左右，送風(fēng)口測(cè)點(diǎn)位置離開(kāi)送風(fēng)面30cm左右，關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處可增加測(cè)點(diǎn)，每個(gè)采樣點(diǎn)一般采樣一次。壓差檢測(cè)有助于確認(rèn)潔凈室與非潔凈區(qū)之間的隔離效果。廣東實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)方便客戶

采用智能化管理系統(tǒng)，提高潔凈室檢測(cè)數(shù)據(jù)的管理效率。湖北實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響湖北實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)