②沉降菌的測試對(duì)單向流如5級(jí)凈化房間內(nèi)及層流工作臺(tái)測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于10分鐘后開始；對(duì)非單向流如7級(jí)、8級(jí)以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于30分鐘開始。a.采樣方法：將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點(diǎn)，打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時(shí)再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束，將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時(shí)間不少于48小時(shí)。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對(duì)照試驗(yàn)檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對(duì)照培養(yǎng)。c.菌落計(jì)數(shù)用肉眼直接計(jì)數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個(gè)或2個(gè)以上菌落重疊可分辨時(shí)仍以2個(gè)或2個(gè)以上的菌落計(jì)數(shù)。它不僅對(duì)室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風(fēng)速有一定要求，而且對(duì)空氣中的含塵粒數(shù)、細(xì)菌濃度等均有較高的要求。上海電子廠房環(huán)境檢測

（一）潔凈室竣工驗(yàn)收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動(dòng)滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機(jī)、凈化空調(diào)機(jī)組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6、送、回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明和動(dòng)力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時(shí)穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。福建實(shí)驗(yàn)室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)采用非接觸式檢測技術(shù)，減少對(duì)潔凈室的潛在污染。

    1.適用范圍此程序適用于高效過濾器完整性測試(俗稱高效過濾器檢漏)。2.高效過濾器檢漏原理通過氣溶膠光度計(jì)測定上下游粒子的濃度，得出泄漏率的大小。3.儀器設(shè)備氣溶膠發(fā)生器氣溶膠光度計(jì)供氣軟管耗材:PAO(EMERY3004)高效過濾器檢漏價(jià)格?高效過濾器檢漏按照高效過濾器數(shù)量進(jìn)行收費(fèi)，過濾器分為液槽式過濾器和隔板式過濾器，一般檢測時(shí)采用冷發(fā)收費(fèi)較貴而采用熱發(fā)收費(fèi)較為優(yōu)惠，具體報(bào)價(jià)請(qǐng)聯(lián)系旦霆科技銷售顧問。高效過濾器檢漏周期?高效過濾器檢漏周期一般按照GB規(guī)定每1年進(jìn)行高效過濾器檢漏一次4.高效過濾器完整性測試方法/高效過濾器檢漏方法/高效過濾器DOP檢漏方法操作步驟預(yù)檢查①對(duì)于非層流區(qū)域-關(guān)閉HVAC的風(fēng)機(jī)。-拆除中效過濾器。-將氣溶膠發(fā)生器放置于機(jī)組的負(fù)壓段。②對(duì)于層流單元-發(fā)煙位置靠近回風(fēng)口，風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或?qū)ｉT的氣溶膠發(fā)煙口。-找到高效過濾器前的測試軟管或測試孔，如果沒有測試孔，可在空調(diào)機(jī)組的壓力表處測試上游濃度。-將光度計(jì)內(nèi)部參數(shù)調(diào)節(jié)至100。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)-掃描HEPA的表面及其邊框。-對(duì)球型結(jié)構(gòu)，直接將高效過濾器的軟管或洞與光度計(jì)下游通道相連。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)測試程序-接通電源，溫度升至400??C。

對(duì)單向流如5級(jí)凈化房間內(nèi)及層流工作臺(tái)測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于10分鐘后開始；對(duì)非單向流如7級(jí)、8級(jí)以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于30分鐘開始。a.采樣方法：將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點(diǎn)，打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時(shí)再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束，將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時(shí)間不少于48小時(shí)。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對(duì)照試驗(yàn)檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對(duì)照培養(yǎng)。c.菌落計(jì)數(shù)用肉眼直接計(jì)數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個(gè)或2個(gè)以上菌落重疊可分辨時(shí)仍以2個(gè)或2個(gè)以上的菌落計(jì)數(shù)。潔凈室檢測應(yīng)建立檔案，記錄每次檢測的情況和結(jié)果。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣。福建實(shí)驗(yàn)室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)

微生物檢測也是潔凈室檢測中不可或缺的一環(huán)。上海電子廠房環(huán)境檢測

潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣，以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此，測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此，其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物，因此它們是主要關(guān)注的檢測項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此，換氣次數(shù)越大，氣流流型合理，稀釋效果越***，潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù)，是主要關(guān)注的氣流測試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù)，記錄各測點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù)：根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得上海電子廠房環(huán)境檢測