每臺(tái)風(fēng)機(jī)出風(fēng)面至少1點(diǎn)平均風(fēng)速范圍：m/s±20%額定風(fēng)量測(cè)定用風(fēng)量罩測(cè)試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開(kāi)口應(yīng)完全罩住過(guò)濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置：回風(fēng)口，風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過(guò)濾器之間沒(méi)有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計(jì)設(shè)置氣溶膠濃度調(diào)節(jié)F.檢漏掃描整個(gè)過(guò)濾器和安裝所有邊框和接點(diǎn)。采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）。采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結(jié)構(gòu)部件：a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個(gè)濾器d)密封條、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）f)采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過(guò)濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn)泄露率≤6.高效過(guò)濾器完整性檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)(高效過(guò)濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn))ISO14644-3。當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí)，選用亂流流型。江西生物安全柜檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

壓差檢測(cè)要求：(1)靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測(cè)到直通室外的房間。(3)測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的任何地方均可，測(cè)管口面與氣流流線平行。(4)所測(cè)量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測(cè)步驟：(1)先關(guān)閉所有的門。(2)用微差壓計(jì)測(cè)量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差，應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差，不應(yīng)小于10Pa。(3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)(100級(jí))的單向流潔凈室在開(kāi)門時(shí)，門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。河北排風(fēng)柜檢測(cè)方便客戶按所需控制的空氣中懸浮微粒分類，可將潔凈室分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。

    -連接氮?dú)猓瑱z查氮?dú)夤鈮毫?0psig()。，等幾分鐘后，氣溶膠到達(dá)終端過(guò)濾器。?將掃描探頭與上游濃度測(cè)試孔相連接。?按?或?鍵，使光標(biāo)停留在“上游80%濃度檢測(cè)”，按“確認(rèn)”;觀察上游濃度數(shù)值，調(diào)節(jié)讀數(shù)在20-80之間，讀數(shù)穩(wěn)定后記錄下讀數(shù)。?將掃描探頭與下游濃度測(cè)試孔相連接。?調(diào)整光標(biāo)至“使用內(nèi)部參考值”?按“確認(rèn)”鍵，調(diào)節(jié)參數(shù)值至測(cè)定的上游濃度值。?掃描過(guò)濾器表面及邊框，距濾器表面距離約3cm。?采樣頭的往復(fù)掃描速度Sr約為15/Wp，使用3cm*3cm正方形采樣頭時(shí)，Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的長(zhǎng)方形采樣頭，Sr=3cm/s。(Sr為掃描速度，Wp為垂直于掃描方向的采樣頭寬度)。?將上游濃度測(cè)試管與上游濃度測(cè)試孔相連接。?按?或?鍵，使光標(biāo)停留在“上游80%濃度檢測(cè)”，按“確認(rèn)”;觀察上游濃度數(shù)值。上游濃度隨時(shí)間變化不應(yīng)超過(guò)平均測(cè)量值的±15%。?關(guān)閉氣溶膠按鈕。?氮?dú)饫^續(xù)通過(guò)氣溶膠發(fā)生器約30秒。?關(guān)閉N2。?關(guān)閉電源。表1高效過(guò)濾器完整性測(cè)試操作步驟局部層流/房間百級(jí)（高效檢漏）非層流潔凈室（高效檢漏）A.拆除層流罩B.額定風(fēng)速確定測(cè)量點(diǎn)距過(guò)濾器出風(fēng)面約150-300mm測(cè)試點(diǎn)數(shù)取測(cè)試面積10倍的平方根，且不少點(diǎn)。

A、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服，不得超過(guò)2人，應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn)，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn)，將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右，要均勻科學(xué)布點(diǎn)，而且要避開(kāi)回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè)，總采樣數(shù)可根據(jù)面積開(kāi)2次根求得。潔凈室檢測(cè)后，需形成詳細(xì)的檢測(cè)報(bào)告，記錄各項(xiàng)指標(biāo)數(shù)據(jù)。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū)。河北排風(fēng)柜檢測(cè)方便客戶

凈室被習(xí)慣 地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)。江西生物安全柜檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

1、凡有試運(yùn)轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。屬于機(jī)械設(shè)備的共性要求還應(yīng)符合國(guó)家相關(guān)規(guī)定和機(jī)械設(shè)備施工安裝方面的有關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通常潔凈室需進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備有空調(diào)機(jī)組、送風(fēng)增壓風(fēng)機(jī)箱、排風(fēng)設(shè)備、凈化工作臺(tái)、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲(chǔ)物柜等局部?jī)艋O(shè)備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設(shè)備等。2、在單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后需對(duì)送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量、風(fēng)壓調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行設(shè)定與調(diào)整使各系統(tǒng)的風(fēng)量分配達(dá)到設(shè)計(jì)要求。這個(gè)階段檢測(cè)的目的主要是服務(wù)于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與平衡往往需要反復(fù)進(jìn)行多次。此項(xiàng)檢測(cè)主要由承包商負(fù)責(zé)建設(shè)方的維護(hù)管理人員宜于跟進(jìn)以便熟悉系統(tǒng)。在此基礎(chǔ)上再進(jìn)行包括冷、熱源在內(nèi)的系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間一般不少于8h。要求系統(tǒng)中各項(xiàng)設(shè)備部件包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置等的聯(lián)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)與協(xié)調(diào)過(guò)程中應(yīng)動(dòng)作正確無(wú)異常現(xiàn)象。江西生物安全柜檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)