潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響驗(yàn)證生物潔凈室的步驟主要分為三個(gè)部分:1、驗(yàn)證安裝;2、驗(yàn)證操作;3、驗(yàn)證性能。上海潔凈室檢測技術(shù)好
溫濕度計(jì)測量溫濕度:電子溫濕度計(jì)因其方便、可靠、便于距離測量,在潔凈室檢測、監(jiān)測中使用。常見的有電容式和電阻式傳感器,輔以相應(yīng)電學(xué)儀器,即可測定空氣的相對(duì)濕度。電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結(jié)而成的多孔狀陶瓷體,或高氯酸鋰—聚氯乙烯等高分子材料制成。它們都是利用了在不同濕空氣中,由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器。氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長,工作穩(wěn)定性好,使用較普遍。電容式傳感器:電容式濕度傳感器基本上是一個(gè)電容器,在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發(fā)膜,水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放,隨著水分子的吸附與釋放,高分子薄膜的介電系數(shù)將發(fā)生相應(yīng)變化。因?yàn)榻殡娤禂?shù)隨空氣中的相對(duì)濕度變化而變化,因此,只要測定其電容值即可得到被測空氣的相對(duì)濕度。湖南潔凈室環(huán)境檢測服務(wù)至上潔凈室內(nèi)的照明設(shè)備需定期清潔,避免成為污染源。
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測步驟:(1)先關(guān)閉所有的門。(2)用微差壓計(jì)測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于10Pa。(3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)(100級(jí))的單向流潔凈室在開門時(shí),門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。
(1)檢測前,被測潔凈室的運(yùn)行狀態(tài)必須在正常狀態(tài),其溫度、濕度、風(fēng)量、風(fēng)壓及風(fēng)速必須在控制的規(guī)定值內(nèi);被測試的潔凈室(區(qū))應(yīng)已進(jìn)行過消毒;同時(shí),潔凈室的測試狀態(tài)必須符合生產(chǎn)工藝的要求,并在測試報(bào)告中注明其測試狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài))。(2)測試人員必須穿戴潔凈服,而且一般不得超過兩個(gè)人。(3)凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間對(duì)單向流如5 級(jí)(100 級(jí))潔凈室或?qū)恿鞴ぷ髋_(tái)不得少于10min;對(duì)非單向流如7 級(jí)(10000 級(jí))、8 級(jí)(100000 級(jí))的潔凈室不得少于30min。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的。
對(duì)于風(fēng)口上風(fēng)側(cè)有較長的支管段,且已經(jīng)或可以打孔時(shí),可以用風(fēng)管法確定風(fēng)量,測定斷面距局部阻力部件距離在局部阻力部件后不少于5倍管徑或5倍大邊長度。對(duì)于矩形風(fēng)管,將測定截面分成若干個(gè)相等的小截面,每個(gè)小截面盡可能接近正方形邊長,比較好不大于200mm測點(diǎn),設(shè)于小截面中心,但整個(gè)截面上的測點(diǎn)數(shù)不宜少于3個(gè)。對(duì)于圓形風(fēng)管,應(yīng)該按等面積圓環(huán)法劃分測定截面和確定測點(diǎn)數(shù)。具體可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)管法測量風(fēng)量的方法進(jìn)行。由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大。遼寧口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測誠信推薦
溫濕度控制是維持潔凈室環(huán)境穩(wěn)定的重要因素之一。上海潔凈室檢測技術(shù)好
(七)室內(nèi)噪聲1、儀器設(shè)備和環(huán)境儀器,設(shè)備測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣對(duì)有噪聲設(shè)計(jì)要求的各個(gè)場所分別測定。3、技術(shù)要求室內(nèi)噪聲級(jí)應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下,非單相流潔凈室不應(yīng)大于60dBA;單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dBA;潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級(jí)值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過程及判定(1)測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)一般只測A聲級(jí)的數(shù)值。必要時(shí)測倍頻程聲壓級(jí)。(2)潔凈室面積在15m點(diǎn)采樣,除房間兩對(duì)角線相交的室中心位置外,另在房間四角對(duì)角線上對(duì)稱的選取4點(diǎn)。(3)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施日期。(4)被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖。(5)被測潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、被測粒徑或沉降菌、浮游菌、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測潔凈室的溫濕度、噪聲。(6)測試用的儀器的編號(hào)和標(biāo)定征書測試方法細(xì)則及測試中的特殊情況.(7)測試結(jié)果包括在采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。(8)對(duì)異常測試值進(jìn)行說明及數(shù)據(jù)處理。上海潔凈室檢測技術(shù)好
浮游菌檢測浮游菌檢測是評(píng)估潔凈室生物污染程度的關(guān)鍵檢測項(xiàng)目,尤其在制藥、食品、醫(yī)療器械等對(duì)微生物控制要求極高的行業(yè),浮游菌檢測結(jié)果直接關(guān)系到產(chǎn)品的安全性和有效性。檢測原理是利用空氣采樣器,以恒定的流量抽取潔凈室內(nèi)空氣,使空氣中懸浮的微生物粒子收集到裝有瓊脂培養(yǎng)基的培養(yǎng)皿上。采樣過程需嚴(yán)格遵循無菌操作規(guī)范,采樣人員需穿戴符合潔凈室等級(jí)要求的無菌服、口罩、手套等防護(hù)裝備。采樣點(diǎn)的布置與空氣塵埃粒子檢測類似,但需考慮微生物易滋生的區(qū)域,如墻角、設(shè)備縫隙等。采樣時(shí)間根據(jù)空氣采樣器的流量和預(yù)期的微生物濃度而定,一般每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣時(shí)間在10-30分鐘不等。采樣結(jié)束后,將培養(yǎng)皿置于適宜的溫度(通常為30-...