涂膠顯影機(jī)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)是什么？

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無(wú)錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司2025-05-17

更高精度：適配 3nm 以下先進(jìn)制程，膜厚控制精度向原子級(jí)邁進(jìn)。智能化：集成 AI 算法優(yōu)化工藝參數(shù)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)故障診斷。綠色節(jié)能：采用低毒環(huán)保顯影液，降低化學(xué)品消耗和碳排放。

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