什么是芯片涂膠顯影機(jī)？

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無(wú)錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司2025-05-17

芯片涂膠顯影機(jī)是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于晶圓表面的光刻膠涂覆（涂膠）和曝光后圖形的顯影處理，是光刻工藝的he 心環(huán)節(jié)之一。

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