賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司2025-03-08
溫度控制精度對于氧化退火爐極其重要。在氧化過程中,溫度偏差會直接影響氧化膜的生長速率和質(zhì)量。溫度過高,氧化膜生長過快,可能導致膜層質(zhì)量不穩(wěn)定,出現(xiàn)洞孔、厚度不均勻等問題;溫度過低,氧化反應不完全,無法達到所需的氧化膜厚度。在退火過程中,溫度精度影響材料內(nèi)部應力消除和晶體結(jié)構(gòu)修復效果。如果溫度控制不準確,可能導致材料性能無法有效改善,甚至出現(xiàn)性能劣化。一般氧化退火爐的溫度控制精度需達到 ±1℃甚至更高,才能滿足半導體制造等對材料性能要求極高的行業(yè)需求。?
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