氧分析儀在半導(dǎo)體RTA快速退火爐上監(jiān)控氧含量的步驟是什么？

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上海高傳電子科技有限公司2024-05-18

1.安裝和校準(zhǔn)： ● 將Microx-223氧分析儀安裝在RTA退火爐的氣體出口或取樣點，確保傳感器能夠直接接觸到爐內(nèi)處理過程中的氣體。 ● 在安裝之前對氧分析儀進行校準(zhǔn)，以確保其測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。 2.系統(tǒng)集成： ● 將氧分析儀與RTA退火爐的控制系統(tǒng)（通常是自動化或PLC系統(tǒng)）進行集成。這可以通過硬線連接或網(wǎng)絡(luò)通訊（如RS-232, RS-485, Ethernet等）實現(xiàn)。 ● 集成后氧分析儀可以實時向控制系統(tǒng)提供氧含量的數(shù)據(jù)，控制系統(tǒng)則可以根據(jù)這些數(shù)據(jù)調(diào)整爐內(nèi)條件或觸發(fā)警報。 3.設(shè)置報警和監(jiān)控閾值： ● 在控制系統(tǒng)中，為Microx-223氧分析儀設(shè)置報警閾值。當(dāng)氧含量超過或低于這些閾值時，系統(tǒng)應(yīng)能夠觸發(fā)警報，以通知操作人員及時采取措施。 ● 設(shè)置監(jiān)控閾值，以便操作人員和質(zhì)量控制團隊可以持續(xù)監(jiān)控氧含量，并據(jù)此調(diào)整工藝參數(shù)或進行故障排除。 4.數(shù)據(jù)記錄和分析： ● 利用控制系統(tǒng)或附加的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，記錄氧含量的歷史數(shù)據(jù)。 ● 分析這些數(shù)據(jù)，以識別工藝穩(wěn)定性、產(chǎn)品一致性和潛在的工藝改進點。 5.維護和校準(zhǔn)： ● 定期對Microx-223氧分析儀進行維護和校準(zhǔn)，以確保其長期準(zhǔn)確性和可靠性。 ● 根據(jù)制造商的建議和半導(dǎo)體工藝的要求，制定維護計劃。