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快速退火爐RTP的原理是什么?

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司2024-05-10

半導(dǎo)體快速退火爐通過高功率的電熱元件,如加熱電阻來產(chǎn)生高溫。在快速退火爐中,通常采用氫氣或氮?dú)庾鳛闅夥毡Wo(hù),以防止半導(dǎo)體材料表面氧化和污染。半導(dǎo)體材料在高溫下快速退火后,會重新結(jié)晶和再結(jié)晶,從而使晶體缺陷減少,改善半導(dǎo)體的電學(xué)性能,提高設(shè)備的可靠性和使用壽命。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司
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簡介:晟鼎精密主營產(chǎn)品RTP快速退火爐、等離子清洗機(jī)、等離子去膠機(jī)、接觸角測量等表面性能處理及檢測設(shè)備。
簡介: 晟鼎精密主營產(chǎn)品RTP快速退火爐、等離子清洗機(jī)、等離子去膠機(jī)、接觸角測量等表面性能處理及檢測設(shè)備。
退火爐+等離子
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其余 1 條回答

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    東莞市晟鼎精密儀器有限公司 2024-05-10

    與傳統(tǒng)退火相比,快速退火具有更高的加熱和冷卻速度。通過快速加熱和冷卻,可以縮短退火時間,提高生產(chǎn)效率。熱處理是半導(dǎo)體制造中的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),它可以改變材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能。在熱處理過程中,材料被加熱到高溫,然后進(jìn)行保溫和冷卻。這個過程中,材料內(nèi)部的原子會發(fā)生重新排列,從而改變材料的物理、化學(xué)和機(jī)械性質(zhì)。

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