東莞市晟鼎精密儀器有限公司2024-05-10

半導(dǎo)體快速退火爐通過(guò)高功率的電熱元件，如加熱電阻來(lái)產(chǎn)生高溫。在快速退火爐中，通常采用氫氣或氮?dú)庾鳛闅夥毡Ｗo(hù)，以防止半導(dǎo)體材料表面氧化和污染。半導(dǎo)體材料在高溫下快速退火后，會(huì)重新結(jié)晶和再結(jié)晶，從而使晶體缺陷減少，改善半導(dǎo)體的電學(xué)性能，提高設(shè)備的可靠性和使用壽命。

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